[發明專利]固體密度測量方法和檢驗靶材密度是否合格的方法

有效

• 申請號: 201210594604.4
• 申請日: 2012-12-31
• 公開（公告）號: CN103913399A
• 公開（公告）日: 2014-07-09
• 發明（設計）人: 姚力軍;相原俊夫;大巖一彥;潘杰;王學澤;李小萍
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料有限公司
• 主分類號: G01N9/00
• 分類號: G01N9/00;G01N9/36
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 駱蘇華

技術領域

本發明涉及測量儀器技術領域涉及固體密度測量方法和檢驗靶材密度是否合格的方法。

背景技術

真空濺射是由電子在電場的作用下加速飛向基片的過程中與氬原子發生碰撞，電離出大量的氬離子和電子，電子飛向基片，氬離子在電場的作用下加速轟擊濺射基臺上的靶材的濺射面，濺射出大量的靶材原子，呈中性的靶材原子(或分子)沉積在基片上成膜，而最終達到對基片表面鍍膜的目的。

在公開號為CN1109512A(公開日：1995年10月4日)的中國專利文獻中還能發現更多的關于真空濺射的信息。

靶材的致密度對濺射工藝和基片表面的鍍膜質量有著重要的影響。因此，制作形成靶材后，對靶材密度的檢測步驟是十分必要的。

現有的靶材密度的檢測方法具有局限性，尤其靶材密度的檢測精度不高。

發明內容

本發明解決的技術問題是采用現有的靶材密度的檢測方法具有局限性，尤其靶材密度的檢測精度不高。

為解決上述問題，本發明提供一種固體密度的檢測方法，包括：

本發明還提供一種固體密度的測量裝置，包括：

提供固體試樣；

測量固體試樣在空氣中的質量為第一測量質量M0；

將固體試樣浸沒在液體中，測量固體試樣在液體中的質量為第二測量質量M2；

根據M0+ρ_空gV_物＝M2+ρ_液gV_物，獲取固體試樣的體積；其中，ρ_空為空氣的密度、ρ_液為液體的密度；

根據固體試樣的體積以及實際質量，獲取固體試樣的密度，所述實際質量為M0+ρ_空gV_物或M2+ρ_液gV_物。

可選的，測量所述第一質量M0和所述第二質量M2的方法包括：

提供電子天平，所述電子天平具有稱量盤，在所述稱量盤上安裝測量輔助裝置，所述測量輔助裝置包括：

與所述稱量盤連接的檢測支架，所述檢測支架上設置有托盤，所述托盤置于所述稱量盤上方；

將盛有液體的第一容器放在電子天平的稱量盤上；

在所述液體中設置第二容器，且使所述第二容器完全浸沒在第一容器中的液體內，所述第二容器和所述托盤通過載物工作線連接，以使第二容器不接觸第一容器底部；

安裝完所述測量輔助裝置后，對電子天平進行去皮調零處理，以去除所述測量輔助裝置對所述稱量盤施加的力，使得天平的讀數為零；

對電子天平進行去皮調零后，將固體試樣放在第二容器中，所述液體浸沒所述固體試樣且不溢出第一容器，記錄電子天平顯示的讀數，得到第二測量質量M2。

可選的，測量所述第一質量M0的方法包括：將固體試樣放置于所述托盤上，記錄電子天平顯示的讀數，得到第一測量重量M0。

可選的，將固體試樣放在第二容器中之前，還包括步驟：

在電子天平外設置第三容器，所述第三容器中盛有所述液體，將固體試樣浸沒在所述第三容器中的液體中；

待固體試樣在所述第三容器的液體中充分浸濕后，取出所述固體試樣；

去除所述固體試樣后，去除所述固體試樣表面的液珠。

可選的，所述將固體試樣放在第二容器中的時間大于等于30min后，再記錄電子天平顯示的讀數。

可選的，所述液體的密度小于等于所述固體試樣的密度。

可選的，所述液體為水。

可選的，測量所述液體的溫度，所述溫度計不接觸第一容器或第二容器的底部和側壁；

測量所述液體的溫度后，查所述液體在不同溫度下的密度對照表獲得液體的密度ρ_液。

可選的，所述載物工作線的直徑小于等于0.1mm，所述載物工作線的材料為無吸水性材料。

可選的，所述載物工作線的材料為聚乙烯。

可選的，所述第二容器的底部和側壁鏤空。

可選的，所述空氣的密度ρ_空包括干空氣的密度ρ_空干和含水蒸汽的濕空氣的密度ρ_空濕；