[發(fā)明專(zhuān)利]晶圓表面處理裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210594008.6
• 申請(qǐng)日: 2012-12-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103065996A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-04-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 呂海波;王振榮;劉紅兵
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海新陽(yáng)半導(dǎo)體材料股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/67;H01L21/687
• 代理公司: 上海脫穎律師事務(wù)所 31259
• 代理人: 李強(qiáng)

1.晶圓表面處理裝置，其特征在于，包括晶圓夾持旋轉(zhuǎn)裝置和槽體；所述槽體設(shè)置有槽腔；所述晶圓夾持旋轉(zhuǎn)裝置鉸接在槽體上端，可翻轉(zhuǎn)地設(shè)置；

所述晶圓夾持旋轉(zhuǎn)裝置包括：

下表面用于固定晶圓的下基板，所述下基板可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置；

夾持夾子；所述夾持夾子包括向基板中心延伸的鉤體；鉤體位于下基板下方；鉤體受驅(qū)動(dòng)

可朝向下基板運(yùn)動(dòng)和遠(yuǎn)離下基板往復(fù)運(yùn)動(dòng)地設(shè)置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓表面處理裝置，其特征在于，所述晶圓夾持旋轉(zhuǎn)裝置還包括第一驅(qū)動(dòng)裝置，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置與所述夾持夾子傳動(dòng)連接，驅(qū)動(dòng)所述鉤體往復(fù)移動(dòng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓表面處理裝置，其特征在于，所述晶圓夾持旋轉(zhuǎn)裝置還包括支撐板；所述支撐板位于下基板上方，支撐板受驅(qū)動(dòng)朝向下基板運(yùn)動(dòng)或遠(yuǎn)離下基板運(yùn)動(dòng)；夾持夾子與支撐板連接，夾持夾子受支撐板驅(qū)動(dòng)運(yùn)動(dòng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓表面處理裝置，其特征在于，所述晶圓夾持旋轉(zhuǎn)裝置還包括上基板；上基板與下基板間隔設(shè)置且相互連接，支撐板位于上基板與下基板之間；夾持夾子與支撐板連接，支撐板與鉤體分別位于下基板上下兩側(cè)。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓表面處理裝置，其特征在于，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置的動(dòng)力輸出裝置驅(qū)動(dòng)支撐板朝向下基板移動(dòng)；還包括彈性復(fù)位裝置，所述彈性復(fù)位裝置在支撐板朝向下基板運(yùn)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生彈性變形力；該彈性變形力具有使支撐板遠(yuǎn)離下基板的趨勢(shì)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶圓表面處理裝置，其特征在于，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置的動(dòng)力輸出機(jī)構(gòu)設(shè)置有活塞板；彈性復(fù)位裝置為壓縮彈簧；壓縮彈簧一端抵靠在活塞板上，另一端抵靠在上基板上。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓表面處理裝置，其特征在于，第一驅(qū)動(dòng)裝置為單向動(dòng)力輸出裝置。

8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓表面處理裝置，其特征在于，第一驅(qū)動(dòng)裝置為雙向往復(fù)驅(qū)動(dòng)裝置。

9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓表面處理裝置，其特征在于，所述夾持夾子還包括連桿，鉤體設(shè)置在連桿下端部，鉤體自連桿向下基板中心延伸；連桿穿過(guò)下基板，上端與支撐板連接；支撐板與鉤體分別位于下基板上下兩側(cè)。

10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓表面處理裝置，其特征在于，所述晶圓夾持旋轉(zhuǎn)裝置還包括第二驅(qū)動(dòng)裝置；第二驅(qū)動(dòng)裝置與下基板傳動(dòng)連接；第二驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)下基板旋轉(zhuǎn)地設(shè)置。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的晶圓表面處理裝置，其特征在于，第二驅(qū)動(dòng)裝置與第一驅(qū)動(dòng)裝置傳動(dòng)連接，第二驅(qū)動(dòng)裝置通過(guò)驅(qū)動(dòng)第一驅(qū)動(dòng)裝置旋轉(zhuǎn)而驅(qū)動(dòng)下基板旋轉(zhuǎn)。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的晶圓表面處理裝置，其特征在于，所述晶圓夾持旋轉(zhuǎn)裝置還包括上基板；上基板與下基板間隔設(shè)置且相互連接；第一驅(qū)動(dòng)裝置與上基板連接，第一驅(qū)動(dòng)裝置旋轉(zhuǎn)時(shí)帶動(dòng)上基板旋轉(zhuǎn)而帶動(dòng)下基板旋轉(zhuǎn)。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的晶圓表面處理裝置，其特征在于，所述晶圓夾持旋轉(zhuǎn)裝置還包括支撐板，支撐板可運(yùn)動(dòng)地設(shè)置于上基板與下基板之間；夾持夾子穿過(guò)下基板并與支撐板連接；第一驅(qū)動(dòng)裝置與支撐板傳動(dòng)連接，第一驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)支撐板運(yùn)動(dòng)。

14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的晶圓表面處理裝置，其特征在于，所述晶圓夾持旋轉(zhuǎn)裝置還包括槽蓋和罩殼；槽蓋鉸接于槽體上端；罩殼安裝于槽蓋上，罩殼具有一容腔；所述第一驅(qū)動(dòng)裝置與第二驅(qū)動(dòng)裝置均設(shè)置于容腔內(nèi)，第一驅(qū)動(dòng)裝置可旋轉(zhuǎn)地安裝于槽蓋上。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的晶圓表面處理裝置，其特征在于，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置包括外殼和動(dòng)力輸出裝置；動(dòng)力輸出裝置與支撐板連接；所述外殼可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置于槽蓋上且穿過(guò)槽蓋并與上基板連接。

16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的晶圓表面處理裝置，其特征在于，所述外殼與上基板通過(guò)套筒連接；套筒套裝在外殼端部，且可旋轉(zhuǎn)地安裝在槽蓋上，套筒穿過(guò)所述槽蓋。

17.根據(jù)權(quán)利要求15或16所述的晶圓表面處理裝置，其特征在于，所述動(dòng)力輸出裝置包括活塞板和活塞桿；活塞桿上端與活塞板連接，下端與支撐板連接；活塞板與活塞桿可運(yùn)動(dòng)地設(shè)置于外殼或套筒內(nèi)，且活塞桿穿過(guò)上基板與支撐板連接；活塞板與上基板之間設(shè)置有彈性復(fù)位裝置。