[發明專利]機器人

無效

• 申請號: 201210593043.6
• 申請日: 2012-12-31
• 公開（公告）號: CN103241541A
• 公開（公告）日: 2013-08-14
• 發明（設計）人: 古市昌稔;勝田信一
• 申請（專利權）人: 株式會社安川電機
• 主分類號: B65G47/90
• 分類號: B65G47/90
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 黨曉林;王小東

技術領域

在此公開的實施方式涉及一種機器人。

背景技術

通常，所謂的水平多關節機器人公知為用于傳送基板（例如半導體晶片等）的機器人。在水平多關節機器人中，將用作末端執行器的手安裝在可擺動臂的末端部，以便相對于所述臂水平旋轉。所述手能保持基板（例如，參見日本專利申請公報No.2011-224743）。

在這種類型的機器人中，常將用于驅動手的手驅動機構布置在所述臂的殼體內。將用于探測基板存在與否的傳感器安裝在所述手中。有時將電纜布置在所述臂的殼體內。

然而，在上述傳統構造中，當試圖檢查例如所述手驅動機構或電纜時，在不移開附接至臂殼體的覆蓋件的情況下，不能檢查所述臂的內部狀態。

發明內容

在此公開的實施方式提供一種機器人，該機器人使容易檢查臂的內部狀態。

根據本實施方式的一方面，該實施方式提供一種機器人，其包括臂單元，該臂單元具有通過關節部能旋轉地安裝的基端部，所述臂單元包括殼體以及布置在所述殼體內的預定的構件，其中，所述殼體的至少一部分由透明材料制成。

通過在此公開的實施方式，可容易地從臂的外部檢查臂的內部狀態。

附圖說明

圖1是示出根據本實施方式的機器人的示意性說明圖。

圖2是示出機器人的第二臂的垂直剖視的示意性說明圖。

圖3是示出安裝在機器人的第二臂中的窗口部的示意性說明圖。

圖4是示出窗口部的變型例的示意性說明圖。

具體實施方式

現將參照構成本發明的一部分的附圖詳細描述在此公開的機器人的一個實施方式。盡管以下將水平多關節機器人作為機器人的一個實施例進行描述，但是本發明并不限于以下描述的實施方式。

首先，將參照圖1描述根據本實施方式的水平多關節機器人（在下文中被簡單稱作“機器人1”）的示意性構造。圖1是示出根據本實施方式的機器人1的示意性說明圖。

在下面的描述中，有時有此情況：機器人1的各個組件的相對位置關系由上下方向、左右方向以及前后方向限定。在此情況下，將圖1所示的三維直角坐標系中的Z方向稱作向上方向，將X方向稱作水平右方，將Y方向稱作前方。

參照圖1，根據本實施方式的機器人1包括：基座單元2，該基座單元安裝在預定的安裝表面上，例如地板表面等；以及臂單元3，該臂單元關于基座單元2水平旋轉地安裝。臂單元3的末端設置有沿水平方向可旋轉的手單元4。

基座單元2是機器人1的基座。在基座單元2內布置有提升機構（未示出），其用于驅動上下移動臂單元3的提升單元5。例如，可將采用馬達與滾珠絲杠的公知機構用作提升機構。

通過形成為圓柱形的提升單元5，臂單元3被安裝成相對于基座單元2的上表面沿垂直方向（Z方向）可滑動（參見圖1中的雙箭頭100a）。

臂單元3包括第一臂6與第二臂7。第一臂6具有基端部，該基端部通過第一關節部61安裝在提升單元5的上端，以能繞中心軸線101a水平旋轉。

第二臂7具有基端部，該基端部通過第二關節部62安裝在第一臂6的末端部中，以能繞中心軸線102a水平旋轉。手單元4通過第三關節部63的手樞軸103（參見圖2）安裝在第二臂7的末端部中，以能繞中心軸線103a旋轉。

手單元4是用于抓握例如晶片的末端執行器。手單元4包括第一手4a與第二手4b，兩者形成叉形。

沿手樞軸103以間隔開的關系安裝第一手4a與第二手4b。換言之，第一手4a與第二手4b以豎向重疊的狀態附接至手樞軸103，以便能在預定旋轉范圍內獨立旋轉。

如圖1中所示，第一手4a與第二手4b具有相同的構造?？蛇x的是，第一手4a與第二手4b可具有不同的構造。在本實施方式中，將手單元4構造成包括兩只手，但是手的數目并不限于此。

機器人1被安裝在例如基板傳輸系統（未示出）中，并且可適用于傳送基板，例如晶片等?；鍌鬏斚到y與處理裝置并排安裝，該處理裝置用于使基板經受例如清洗、蝕刻、灰化、化學氣相沉積或曝光。不用說，可在不同點安裝多個機器人1，以便在期望的位置間傳送諸如基板之類的板狀構件。

接著，將參照圖2至圖4詳細描述機器人1的第二臂7的構造。

圖2是示出機器人1的第二臂7的垂直剖視的示意性說明圖。圖3是示出安裝在機器人1的第二臂7中的窗口部12的示意性說明圖。圖4是示出窗口部12的變型例的示意性說明圖。