[發明專利]靜電卡盤和反應腔室

有效

• 申請號: 201210590493.X
• 申請日: 2012-12-31
• 公開（公告）號: CN103904014A
• 公開（公告）日: 2014-07-02
• 發明（設計）人: 聶淼
• 申請（專利權）人: 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01J37/32
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張天舒

1.一種靜電卡盤，其特征在于，包括：靜電卡盤組件、冷卻件、支撐隔熱件和密封隔熱件，其中：

所述靜電卡盤組件位于所述冷卻件的上方，所述支撐隔熱件設置于所述靜電卡盤組件和所述冷卻件之間，所述密封隔熱件設置于所述靜電卡盤組件和所述冷卻件之間，且所述密封隔熱件分別與所述靜電卡盤組件和所述冷卻件密封連接，所述密封隔熱件位于所述支撐隔熱件的外側，所述密封隔熱件和所述支撐隔熱件之間形成有間隔空間，所述間隔空間用于引出引線。

2.根據權利要求1所述的靜電卡盤，其特征在于，所述密封隔熱件為環形結構，所述支撐隔熱件為環形結構。

3.根據權利要求1所述的靜電卡盤，其特征在于，所述密封隔熱件為薄壁環形結構。

4.根據權利要求1所述的靜電卡盤，其特征在于，所述支撐隔熱件與所述冷卻件連接，所述支撐隔熱件支撐所述靜電卡盤組件。

5.根據權利要求4所述的靜電卡盤，其特征在于，所述支撐隔熱件通過螺紋連接方式與所述冷卻件連接。

6.根據權利要求1所述的靜電卡盤，其特征在于，所述密封隔熱件與所述靜電卡盤組件之間通過擴散連接方式連接，所述密封隔熱件與所述冷卻件之間通過擴散方式連接。

7.根據權利要求1所述的靜電卡盤，其特征在于，所述支撐隔熱件位于所述靜電卡盤組件的中間位置，所述密封隔熱件位于所述靜電卡盤組件的邊緣位置。

8.根據權利要求1所述的靜電卡盤，其特征在于，所述冷卻件上設置有通孔，所述通孔用于將所述間隔空間引出的引線導出。

9.根據權利要求1所述的靜電卡盤，其特征在于，所述靜電卡盤組件和冷卻件內設置有氣體通道，通過通入導熱氣體來提高襯底溫度的均勻性。

10.一種反應腔室，其特征在于，包括：腔體、靜電卡盤和射頻電源，所述靜電卡盤位于所述腔體的內部，所述射頻電源用于向所述腔體提供射頻功率；

所述靜電卡盤采用權利要求1-9任意一項所述的靜電卡盤。