[發明專利]一種應用于真空鍍膜領域的鏈傳輸機構

無效

• 申請號: 201210589980.4
• 申請日: 2012-12-29
• 公開（公告）號: CN103046017A
• 公開（公告）日: 2013-04-17
• 發明（設計）人: 劉麗華;馮彬;孫影;佟雷;馬錦
• 申請（專利權）人: 中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 何麗英

技術領域

本發明屬于真空鍍膜技術領域，具體地說是一種應用于真空鍍膜領域的鏈傳輸機構。

背景技術

目前，在國內制備鍍膜領域中，比如線列式磁控濺射系統，經常需要多個真空室組成的聯合工作系統，這就需要一種應用于真空鍍膜領域的鏈傳輸機構，這種傳輸機構適用于基片托(小車)的雙向傳輸，并適用于熱場環境，能有效避免因熱形變導致的傳輸卡殼。

發明內容

針對上述問題，本發明的目的在于提供一種應用于真空鍍膜領域的鏈傳輸機構。該鏈傳輸機構適用于熱場環境，能有效避免因熱形變導致的傳輸卡殼。

為了實現上述目的，本發明采用以下技術方案：

一種應用于真空鍍膜領域的鏈傳輸機構，包括導軌支架、基片托、帶拔齒的傳動鏈、基片及兩個主動鏈輪，其中導軌支架設置于真空腔體內，所述兩個主動鏈輪分別設置于導軌支架的下端兩側、并通過帶拔齒的傳動鏈傳動連接，所述基片托設置于帶拔齒的傳動鏈上、并與導軌支架滑動連接，所述基片安裝在基片托上；所述主動鏈輪驅動帶拔齒的傳動鏈水平移動，帶拔齒的傳動鏈上的拔齒帶動基片托在導軌支架上水平移動。

所述兩個主動鏈輪之間設有與帶拔齒的傳動鏈連接的漲緊輪。所述漲緊輪為多個。所述基片托的兩側設有多個與導軌支架滑動連接的運動小車輪。所述基片托的一側安裝有導向小車輪。

本發明的優點及有益效果是：

1.本發明采用雙向鏈輪機構滿足雙向傳輸的需要。

2.本發明定做帶撥齒的鏈條把動力傳給基片托。

3.本發明采用漲緊輪有效防松。

4.本發明單側限位解決了因熱形變導致的傳輸卡殼難題。

附圖說明

圖1為本發明的結構示意圖；

圖2為圖1的俯視圖；

圖3為圖1的左視圖。

其中：1為導軌支架，2為基片，3為基片托，4為主動鏈輪，5為漲緊輪，6為帶拔齒的傳動鏈，7為運動小車輪，8為導向小車輪。

具體實施方式

下面結合附圖對本發明作進一步描述。

如圖1-3所示，本發明包括導軌支架1、基片托3、帶拔齒的傳動鏈6、基片2、漲緊輪5及兩個主動鏈輪4，其中導軌支架1設置于真空腔體內，兩個主動鏈輪4分別設置于導軌支架1的下端兩側、并通過帶拔齒的傳動鏈6傳動連接，基片托3設置于帶拔齒的傳動鏈6上、并與導軌支架1滑動連接，基片2安裝在基片托3上。兩個主動鏈輪4之間設有多個與帶拔齒的傳動鏈6連接的漲緊輪5，防止帶拔齒的傳動鏈6松動。基片托3的兩側設有多個與導軌支架1滑動連接的運動小車輪7，用于減少基片托3和導軌支架1之間的摩擦運動阻力。為了保證傳輸有良好的直線性和解決因熱形變導致的傳輸卡殼難題，只在基片托3的一側安裝有導向小車輪8。

通過手動或電動機的轉軸引入到真空腔體內驅動其中一個主動鏈輪4，主動鏈輪4驅動帶拔齒的傳動鏈6水平移動，帶拔齒的傳動鏈6上的拔齒帶動基片托3在導軌支架1上水平移動。