[發(fā)明專(zhuān)利]一種應(yīng)用于真空鍍膜領(lǐng)域的鏈傳輸機(jī)構(gòu)

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210589980.4
• 申請(qǐng)日: 2012-12-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103046017A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-04-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉麗華;馮彬;孫影;佟雷;馬錦
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)科學(xué)儀器股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/56
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/56
• 代理公司: 沈陽(yáng)科苑專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 21002
• 代理人: 何麗英

1.一種應(yīng)用于真空鍍膜領(lǐng)域的鏈傳輸機(jī)構(gòu)，其特征在于：包括導(dǎo)軌支架(1)、基片托(3)、帶拔齒的傳動(dòng)鏈(6)、基片(2)及兩個(gè)主動(dòng)鏈輪(4)，其中導(dǎo)軌支架(1)設(shè)置于真空腔體內(nèi)，所述兩個(gè)主動(dòng)鏈輪(4)分別設(shè)置于導(dǎo)軌支架(1)的下端兩側(cè)、并通過(guò)帶拔齒的傳動(dòng)鏈(6)傳動(dòng)連接，所述基片托(3)設(shè)置于帶拔齒的傳動(dòng)鏈(6)上、并與導(dǎo)軌支架(1)滑動(dòng)連接，所述基片(2)安裝在基片托(3)上；所述主動(dòng)鏈輪(4)驅(qū)動(dòng)帶拔齒的傳動(dòng)鏈(6)水平移動(dòng)，帶拔齒的傳動(dòng)鏈(6)上的拔齒帶動(dòng)基片托(3)在導(dǎo)軌支架(1)上水平移動(dòng)。

2.按權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于真空鍍膜領(lǐng)域的鏈傳輸機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述兩個(gè)主動(dòng)鏈輪(4)之間設(shè)有與帶拔齒的傳動(dòng)鏈(6)連接的漲緊輪(5)。

3.按權(quán)利要求2所述的應(yīng)用于真空鍍膜領(lǐng)域的鏈傳輸機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述漲緊輪(5)為多個(gè)。

4.按權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于真空鍍膜領(lǐng)域的鏈傳輸機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述基片托(3)的兩側(cè)設(shè)有多個(gè)與導(dǎo)軌支架(1)滑動(dòng)連接的運(yùn)動(dòng)小車(chē)輪(7)。

5.按權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于真空鍍膜領(lǐng)域的鏈傳輸機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述基片托(3)的一側(cè)安裝有導(dǎo)向小車(chē)輪(8)。