[發明專利]單點確定晶圓測試范圍的方法有效
| 申請號： | 201210589640.1 | 申請日： | 2012-12-31 |
| 公開（公告）號： | CN103063185B | 公開（公告）日： | 2017-04-19 |
| 發明（設計）人： | 羅楊;劉國敬;霍杰 | 申請（專利權）人： | 中國電子科技集團公司第四十五研究所 |
| 主分類號： | G01B21/20 | 分類號： | G01B21/20 |
| 代理公司： | 北京中建聯合知識產權代理事務所(普通合伙)11004 | 代理人： | 朱麗巖,劉湘舟 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 單點 確定 測試 范圍 方法 | ||
1.一種單點確定晶圓測試范圍的方法，其特征在于，包括以下步驟：
計算晶圓Map分布圖上啟測點晶粒的理論Map坐標；
通過人工方式，錄入晶圓上啟測點晶粒的當前電機脈沖坐標；
根據所述當前電機脈沖坐標計算所述晶圓上啟測點晶粒的實際Map坐標；
根據所述啟測點晶粒的理論Map坐標和啟測點晶粒的實際Map坐標間的坐標映射關系，確定晶圓的實際測試范圍，是指通過所述啟測點晶粒的理論Map坐標和啟測點晶粒的實際Map坐標間的映射關系確定出啟測點的理論Map坐標和實際Map坐標間的坐標偏移量，然后根據所述坐標偏移量結合固定圓心算法來確定晶圓的實際測試范圍。
2.根據權利要求1所述的單點確定晶圓測試范圍的方法，其特征在于，所述的晶圓Map分布圖上啟測點晶粒的理論Map坐標，是指所述晶圓Map分布圖上第一行最左端的晶粒的Map坐標。
3.根據權利要求1所述的單點確定晶圓測試范圍的方法，其特征在于，所述的晶圓上啟測點晶粒的當前電機脈沖坐標，是指晶圓左上角第一個晶粒的當前電機脈沖坐標。
4.根據權利要求1所述的單點確定晶圓測試范圍的方法，其特征在于，根據輸入的晶圓直徑、晶粒尺寸及晶粒分布奇偶性特征參數，計算所述晶圓Map分布圖上啟測點晶粒的理論Map坐標。
5.根據權利要求1所述的單點確定晶圓測試范圍的方法，其特征在于，所述的通過人工方式錄入晶圓上啟測點晶粒的當前電機脈沖坐標的前提條件是，啟動測試探針臺，上片掃描并將放在承片臺上的晶圓上的啟測點晶粒的焊盤與測試探針對準，然后再錄入晶圓上啟測點晶粒的當前電機脈沖坐標。
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