[發(fā)明專利]研磨硅片用夾具

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210586520.6
• 申請(qǐng)日: 2012-12-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103009240A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-04-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 聶金根
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 鎮(zhèn)江市港南電子有限公司
• 主分類號(hào): B24B37/27
• 分類號(hào): B24B37/27
• 代理公司: 上海海頌知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31258
• 代理人: 季萍

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種夾具，特別涉及一種研磨硅片用夾具，屬于硅片加工的技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

在硅片加工過(guò)程中，將硅棒加工成硅片后，硅片上會(huì)產(chǎn)生不規(guī)則的形狀，為了不影響后續(xù)加工的質(zhì)量，要將該不規(guī)則邊去除。

傳統(tǒng)的去除不規(guī)則邊的工序是：將硅片用膠粘合在一起，再將不規(guī)則邊研磨掉。但是將硅片粘合在一起存在以下缺點(diǎn)：

1、尺寸研磨工序結(jié)束后，進(jìn)行表面研磨工序時(shí)，要先將粘合在一起的硅片通過(guò)溶解或清洗的方法分開(kāi)，從而，增加了硅片的損壞率。

2、由于硅片是通常膠粘合在一起的，雖然，通過(guò)清洗會(huì)將膠液去除，但仍會(huì)有殘余的化合物留存，從而，影響硅片表面的平整度，給下道工序增加難度。

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，近來(lái)，出現(xiàn)了一種夾具，該夾具包括定位夾，定位夾內(nèi)設(shè)有夾緊板及鎖緊螺桿，鎖緊螺桿一端插入定位夾內(nèi)，并頂在夾緊板上，使用時(shí)，將硅片排列整齊的放在空位夾內(nèi)，調(diào)節(jié)鎖緊螺桿，使夾緊板將硅片夾緊，該夾具解決了上述技術(shù)問(wèn)題，但該夾具是通過(guò)鎖緊螺桿推動(dòng)夾緊板，實(shí)現(xiàn)硅片夾緊的，使用時(shí)，硅片與夾緊板之間沒(méi)有任何緩沖，研磨過(guò)程中，容易使硅片產(chǎn)生損壞。

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發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的研磨硅片用夾具，該夾具可避免研磨過(guò)程中，硅片的損壞。

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明研磨硅片用夾具，包括定位夾、夾緊裝置，定位夾內(nèi)設(shè)有夾緊板，其中，所述夾緊裝置包括連接板，所述連接板固定設(shè)有所述定位夾內(nèi)壁上，所述連接板與所述夾緊板相平行，所述連接板與所述夾緊板之間設(shè)有至少一個(gè)彈簧，所述彈簧兩端分別與所述連接板及所述夾緊板固定連接。

上述的研磨硅片用夾具，其中，所述彈簧為碟簧。

本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)以下有益效果：

由于所述夾緊裝置包括連接板，所述連接板固定設(shè)有所述定位夾內(nèi)壁上，所述連接板與所述夾緊板相平行，所述連接板與所述夾緊板之間設(shè)有至少一個(gè)彈簧，所述彈簧兩端分別與所述連接板及所述夾緊板固定連接，夾緊板夾緊硅片后，研磨過(guò)程中硅片因震動(dòng)松動(dòng)時(shí)，硅片在彈簧彈力的作用下，自動(dòng)調(diào)節(jié)，避免硅片松開(kāi)，且本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明。

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明研磨硅片用夾具，包括定位夾1，夾緊板2，夾緊裝置，定位夾1內(nèi)設(shè)有夾緊板2，所述夾緊裝置包括連接板3，所述連接板4固定設(shè)有所述定位夾1內(nèi)壁上，所述連接板3與所述夾緊板2相平行，所述連接板3與所述夾緊板2之間設(shè)有彈簧5，所述彈簧5兩端分別與所述連接板3及所述夾緊板2固定連接。彈簧5的數(shù)量不受限制，可以為一個(gè)，兩個(gè)或多個(gè)，根據(jù)具體要求進(jìn)行設(shè)計(jì)。本實(shí)施例中優(yōu)選彈簧5為碟簧，彈簧5數(shù)量為五個(gè)，彈簧5分布在連接板的四個(gè)角落及中心部位。工作時(shí)，將硅片卡在夾緊板與定位夾之間，將彈簧5壓緊，通過(guò)彈簧5的反作用力，將硅片夾緊。

這里本發(fā)明的描述和應(yīng)用是說(shuō)明性的，并非想將本發(fā)明的范圍限制在上述實(shí)施例中，因此，本發(fā)明不受本實(shí)施例的限制，任何采用等效替換取得的技術(shù)方案均在本發(fā)明保護(hù)的范圍內(nèi)。