[發(fā)明專利]研磨硅片用夾具無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201210586520.6 | 申請(qǐng)日： | 2012-12-29 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN103009240A | 公開（公告）日： | 2013-04-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 聶金根 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 鎮(zhèn)江市港南電子有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B24B37/27 | 分類號(hào)： | B24B37/27 |
| 代理公司： | 上海海頌知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 季萍 |
| 地址： | 212132 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 研磨 硅片 夾具 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.研磨硅片用夾具，包括定位夾、夾緊裝置，定位夾內(nèi)設(shè)有夾緊板，其特征在于，所述夾緊裝置包括連接板，所述連接板固定設(shè)有所述定位夾內(nèi)壁上，所述連接板與所述夾緊板相平行，所述連接板與所述夾緊板之間設(shè)有至少一個(gè)彈簧，所述彈簧兩端分別與所述連接板及所述夾緊板固定連接。
2.如權(quán)利要求1所述的研磨硅片用夾具，其特征在于，所述彈簧為碟簧。
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