[發明專利]一種柔性襯底光伏電池絨面鋁電極的制備方法

無效

• 申請號: 201210584628.1
• 申請日: 2012-12-30
• 公開（公告）號: CN103022258A
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發明（設計）人: 白恒瑋
• 申請（專利權）人: 青海天譽匯新能源開發有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/203
• 代理公司: 西寧金語專利代理事務所 63101
• 代理人: 哈慶華

技術領域

本發明涉及太陽能光伏發電領域，具體是一種柔性襯底光伏電池絨面鋁電極的制備方法。

背景技術

傳統的硅薄膜太陽能電池是以玻璃為襯底，為了增加對太陽光的二次吸收，增大太陽光的利用率，提高薄膜太陽能電池的短路電流，研究者們在薄膜的絨面制備方面進行了大量的研究。然而使用柔性襯底時，在襯底上直接制備絨面背電極，提高漫反射率，便成了提高薄膜太陽能電池光吸收效率的最佳途徑。許多常規方法如選擇反應濺射法制備Al電極時，Al電極容易被氧化，很難得到絨面的Al電極。且Al電極導電性好、材料豐富、價格低廉，本發明提出一種新的制備方法和工藝參數來制備低電阻率、高漫反射率的絨面Al電極。

發明內容

本發明的目的在于提供一種柔性襯底光伏電池絨面鋁電極的制備方法。

本發明一種柔性襯底光伏電池絨面鋁電極的制備方法通過下述技術方案予以實現：一種柔性襯底光伏電池絨面鋁電極的制備方法，其特征在于利用射頻磁控濺射技術制備，濺射功率為350-450W、工作氣壓為0.4-0.7Pa時制備的薄膜更適合做柔性硅基薄膜太陽能電池的金屬背電極。

1、??????????本發明的優點為：本發明通過實驗得出結論，在濺射功率低于400W時，工作氣壓為0.6Pa時，薄膜的沉積速率較低，平均約在3.3nm/min;?在濺射功率為400W時，工作氣壓為0.6Pa時，薄膜的沉積速率為41.5nm/min;但在濺射功率高于為400W時，薄膜的沉積速率較低由于濺射粒子?的動能增大而開始逐步降低。

2、??????????在電子顯微鏡下，同樣得出結論在濺射功率為400W、工作氣壓為0.6Pa時，薄膜表面島及島的高度（粗糙程度）為最佳。

具體實施方式

下面結合實施例對本發明一種柔性襯底光伏電池絨面鋁電極的制備方法技術方案作進一步描述。

一種柔性襯底光伏電池絨面鋁電極的制備方法，其特征在于利用射頻磁控濺射技術制備，濺射功率為350-450W、工作氣壓為0.4-0.7Pa時制備的薄膜更適合做柔性硅基薄膜太陽能電池的金屬背電極。

如權利要求1所述的柔性襯底光伏電池絨面鋁電極的制備方法，其特征在于鋁靶直徑為80mm，厚度為5mm，純度為5N；襯底采用PI薄膜，襯底托盤以3.5r/min的速度順時針方向旋轉，靶基距固定為15cm；濺射氣體為高純氬氣，流量為15sccm；在沉積薄膜前用氫等離子體對襯底清洗15min，然后用擋板遮住襯底，預濺射3min，在獲得穩定的濺射狀態時候，然后拿開擋板開始沉積薄膜，沉積時間為35min。

1、??????本發明利用射頻磁控濺射技術制備，濺射功率為400W、工作氣壓為0.6Pa時制備的薄膜更適合做柔性硅基薄膜太陽能電池的金屬背電極。

2、??????具體實施方法是：鋁靶直徑為80mm，厚度為5mm，純度為5N。襯底采用PI薄膜，襯底托盤以3.5r/min的速度順時針方向旋轉，靶基距固定為15cm，。濺射氣體為高純氬氣，流量為15sccm。在沉積薄膜前用氫等離子體對襯底清洗15min，然后用擋板遮住襯底，預濺射3min，在獲得穩定的濺射狀態時候，然后拿開擋板開始沉積薄膜，沉積時間為35min。

實驗結果

3、??????????本發明通過實驗得出結論，在濺射功率低于400W時，工作氣壓為0.6Pa時，薄膜的沉積速率較低，平均約在3.3nm/min;?在濺射功率為400W時，工作氣壓為0.6Pa時，薄膜的沉積速率為41.5nm/min;但在濺射功率高于為400W時，薄膜的沉積速率較低由于濺射粒子?的動能增大而開始逐步降低。

4、??????????在電子顯微鏡下，同樣得出結論在濺射功率為400W、工作氣壓為0.6Pa時，薄膜表面島及島的高度（粗糙程度）為最佳。