[發明專利]一種柔性襯底光伏電池絨面鋁電極的制備方法

無效

• 申請號: 201210584628.1
• 申請日: 2012-12-30
• 公開（公告）號: CN103022258A
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發明（設計）人: 白恒瑋
• 申請（專利權）人: 青海天譽匯新能源開發有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/203
• 代理公司: 西寧金語專利代理事務所 63101
• 代理人: 哈慶華

1.一種柔性襯底光伏電池絨面鋁電極的制備方法，其特征在于利用射頻磁控濺射技術制備，濺射功率為350-450W、工作氣壓為0.4-0.7Pa時制備的薄膜更適合做柔性硅基薄膜太陽能電池的金屬背電極。

2.如權利要求1所述的柔性襯底光伏電池絨面鋁電極的制備方法，其特征在于鋁靶直徑為80mm，厚度為5mm，純度為5N；襯底采用PI薄膜，襯底托盤以3.5r/min的速度順時針方向旋轉，靶基距固定為15cm；濺射氣體為高純氬氣，流量為15sccm；在沉積薄膜前用氫等離子體對襯底清洗15min，然后用擋板遮住襯底，預濺射3min，在獲得穩定的濺射狀態時候，然后拿開擋板開始沉積薄膜，沉積時間為35min。