[發明專利]新型硅片研磨液的攪拌裝置無效
| 申請號： | 201210580934.8 | 申請日： | 2012-12-27 |
| 公開（公告）號： | CN103055753A | 公開（公告）日： | 2013-04-24 |
| 發明（設計）人： | 聶金根 | 申請（專利權）人： | 鎮江市港南電子有限公司 |
| 主分類號： | B01F15/00 | 分類號： | B01F15/00 |
| 代理公司： | 上海海頌知識產權代理事務所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 季萍 |
| 地址： | 212132 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 新型 硅片 研磨 攪拌 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.新型硅片研磨液的攪拌裝置，包括攪拌軸、攪拌葉，所述攪拌葉垂直的固定在所述攪拌軸的下端，其特征在于，所述攪拌葉包括連接部分，所述連接部分的邊緣均勻設有圓弧凸面，每個所述圓弧凸面上設有相應的攪拌片，所述攪拌片與所述圓弧凸面垂直連接。
2.如權利要求1所述的新型硅片研磨液的攪拌裝置，其特征在于，所述攪拌片由若干板片組成，所述板片相互平行的固定成一體。
3.如權利要求2所述的新型硅片研磨液的攪拌裝置，其特征在于，所述相鄰板片之間的間隙為0.03mm。
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