[發明專利]基于板條結構的大功率532nm綠光激光器

無效

• 申請號: 201210577575.0
• 申請日: 2012-12-27
• 公開（公告）號: CN103022885A
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發明（設計）人: 孔劍;邊莎莎
• 申請（專利權）人: 蘇州鐳創光電技術有限公司
• 主分類號: H01S3/16
• 分類號: H01S3/16;H01S3/081;H01S3/10
• 代理公司: 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224
• 代理人: 董建林

1.基于板條結構的大功率532nm綠光激光器，其特征在于，包括：激光晶體（4），分居上述激光晶體（4）兩側的半導體激光泵浦模塊（1、7），設置于上述激光晶體（4）與半導體激光泵浦模塊（1、7）之間的透鏡組，將上述半導體激光泵浦模塊（1、7）發射出的泵浦光轉換成高光束質量的基頻激光的激光諧振腔，對上述基頻激光進行調制的調制器件（9），以及對上述基頻激光進行頻率變換的綠光非線性晶體（16）；上述激光晶體（4）為板條形狀的薄片，泵浦光的通光方向在薄片之內，激光晶體（4）的“C”軸豎直向上放置或者旋轉90°水平放置；上述激光諧振腔由腔鏡（3、5、8、10、11、12、14、15、17）組成，激光在激光器中形成“M”?字形光路。

2.根據權利要求1所述的基于板條結構的大功率532nm綠光激光器，其特征在于，上述腔鏡包括：柱面鏡（3、5）、平面鏡（8、10、11、12、14、17）、凹面鏡（15），上述柱面鏡（3、5）設置于激光晶體（4）的一側，平面鏡（8、10、11、12、14、17）和凹面鏡（15）設置于激光晶體（4）的另一側，并且沿光路方向凹面鏡（15）設置于綠光非線性晶體（16）之前，優選的，柱面鏡（3、5）和平面鏡（8、10、11、12、14）的端面鍍有對1064nm激光高反膜，凹面鏡（15）的端面鍍有對1064nm激光高反膜、對532nm激光高透膜，平面鏡（17）鍍有對1064nm及532nm激光高反膜。

3.根據權利要求1所述的基于板條結構的大功率532nm綠光激光器，其特征在于，上述激光晶體（4）為Nd:YVO4晶體，或者Nd:YLF晶體、Nd:YAG晶體、Nd:Glass晶體、Yb:YAG晶體、Er:YAG晶體。

4.根據權利要求1所述的基于板條結構的大功率532nm綠光激光器，其特征在于，上述半導體激光泵浦模塊（1、7）的中心波長為808nm或880nm。

5.根據權利要求1所述的基于板條結構的大功率532nm綠光激光器，其特征在于，上述半導體激光泵浦模塊（1、7）發出的泵浦光經透鏡組會聚成截面為長方形的一維平行光，上述一維平行光的上下寬度為激光晶體（4）厚度的一半，長度小于激光晶體（4）的長度。

6.根據權利要求1所述的基于板條結構的大功率532nm綠光激光器，其特征在于，上述分居激光晶體（4）兩側的半導體激光泵浦模塊（1、7）同時泵浦中間的激光晶體（4），或者兩個半導體激光泵浦模塊（1、7）中的任意一個對激光晶體（4）進行單獨泵浦。

7.根據權利要求1所述的基于板條結構的大功率532nm綠光激光器，其特征在于,上述調制器件（9）為聲光調制器件、電光調制器件或吸收型被動調Q開關，優選的，上述調制器件（9）的兩個端面均鍍有1064nm增透膜。

8.根據權利要求1所述的基于板條結構的大功率532nm綠光激光器，其特征在于,上述綠光非線性晶體（16）為I類LBO，或者Ⅱ類LBO、Ⅱ類KTP、Ⅱ類BBO、Ⅱ類CLBO。

9.根據權利要求8所述的基于板條結構的大功率532nm綠光激光器，其特征在于,?上述綠光非線性晶體（16）的兩個端面均鍍有1064nm及532nm雙色高透膜。

10.根據權利要求1至9任意一項所述的基于板條結構的大功率532nm綠光激光器，其特征在于,還包括：用于提高光束質量的光闌（13），上述光闌（13）設置于激光諧振腔內。