[發明專利]基于板條結構的大功率532nm綠光激光器

無效

• 申請號: 201210577575.0
• 申請日: 2012-12-27
• 公開（公告）號: CN103022885A
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發明（設計）人: 孔劍;邊莎莎
• 申請（專利權）人: 蘇州鐳創光電技術有限公司
• 主分類號: H01S3/16
• 分類號: H01S3/16;H01S3/081;H01S3/10
• 代理公司: 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224
• 代理人: 董建林

技術領域

本發明涉及一種全固態激光器，具體涉及一種基于板條結構的大功率532nm綠光激光器。

背景技術

激光二極管泵浦的全固態激光器因具有轉換效率高、穩定性好、結構緊湊、使用壽命長等優點使其成為當今固態激光技術研究的熱點之一，其中板條激光器由于泵浦效率高、散熱效率好而受到廣泛重視。采用棒狀工作介質的高功率固體激光器在長時間運轉時，工作介質的徑向溫度梯度使棒呈現出熱透鏡效應和雙折射效應，進而嚴重降低了光束質量，限制了激光器的輸出水平和高重復率運轉。對于板條結構的固體激光器，可以通過設計合理的“M”?字形光路，減輕甚至消除一階熱聚焦、應力雙折射和退偏效應，從而獲得更好的光束質量和更高的輸出功率。早在20世紀70年代美國GE公司的W.B.Martin等就提出了板條激光器設計的概念，使得板條晶體內部溫度場的分布趨于均勻，極大降低了晶體本身的熱效益。但該方案存在結構設計復雜、吸收長度短、抽運效率低等缺點，限制了其進一步的發展。現有的綠光激光器多是采用棒狀激光晶體得到1064nm基頻激光輸出，然后進行頻率轉換至綠光激光輸出。由于棒狀激光晶體所能承受的熱負荷與泵浦光功率有限，直接限制了綠光激光的大功率輸出。

發明內容

為解決現有技術的不足，本發明的目的在于提供一種基于板條結構獲得更好的光束質量和更高的輸出功率的大功率532nm綠光激光器。?

為了實現上述目標，本發明采用如下的技術方案：

一種基于板條結構的大功率532nm綠光激光器，其特征在于，包括：激光晶體，分居前述激光晶體兩側的半導體激光泵浦模塊，設置于前述激光晶體與半導體激光泵浦模塊之間的透鏡組，將前述半導體激光泵浦模塊發射出的泵浦光轉換成高光束質量的基頻激光的激光諧振腔，對前述基頻激光進行調制的調制器件，以及對前述基頻激光進行頻率變換的綠光非線性晶體；前述激光晶體為板條形狀的薄片，泵浦光的通光方向在薄片之內，激光晶體的“C”軸豎直向上放置或者旋轉90°水平放置；前述激光諧振腔由腔鏡組成，激光在激光器中形成“M”?字形光路。

前述的基于板條結構的大功率532nm綠光激光器，其特征在于，前述腔鏡包括：柱面鏡、平面鏡、凹面鏡，前述柱面鏡設置于激光晶體的一側，平面鏡和凹面鏡設置于激光晶體的另一側，并且沿光路方向凹面鏡設置于綠光非線性晶體之前。

優選的，柱面鏡和設置于綠光非線性晶體之前的平面鏡的端面鍍有對1064nm激光高反膜，設置于綠光非線性晶體之后的平面鏡鍍有對1064nm及532nm激光高反膜，凹面鏡的端面鍍有對1064nm激光高反膜、對532nm激光高透膜。

前述的基于板條結構的大功率532nm綠光激光器，其特征在于，前述激光晶體為Nd:YVO4晶體，或者Nd:YLF晶體、Nd:YAG晶體、Nd:Glass晶體、Yb:YAG晶體、Er:YAG晶體。

前述的基于板條結構的大功率532nm綠光激光器，其特征在于，前述半導體激光泵浦模塊的中心波長為808nm或880nm。

前述的基于板條結構的大功率532nm綠光激光器，其特征在于，前述半導體激光泵浦模塊發出的泵浦光經透鏡組會聚成截面為長方形的一維平行光，前述一維平行光的上下寬度為激光晶體厚度的一半，長度小于激光晶體的長度。

前述的基于板條結構的大功率532nm綠光激光器，其特征在于，前述分居激光晶體兩側的半導體激光泵浦模塊同時泵浦中間的激光晶體，或者兩個半導體激光泵浦模塊中的任意一個對激光晶體進行單獨泵浦。

前述的基于板條結構的大功率532nm綠光激光器，其特征在于,前述調制器件為聲光調制器件、電光調制器件或吸收型被動調Q開關。

優選的，前述調制器件的兩個端面均鍍有1064nm增透膜。

前述的基于板條結構的大功率532nm綠光激光器，其特征在于,前述綠光非線性晶體為I類LBO，或者Ⅱ類LBO、Ⅱ類KTP、Ⅱ類BBO、Ⅱ類CLBO。

前述的基于板條結構的大功率532nm綠光激光器，其特征在于,?前述綠光非線性晶體的兩個端面均鍍有1064nm及532nm雙色高透膜。

前述的基于板條結構的大功率532nm綠光激光器，其特征在于,還包括：用于提高光束質量的光闌，前述光闌設置于激光諧振腔內。