[發明專利]一種透明導電 TiO2/Ag/TiO2復合薄膜的制備方法有效
| 申請號： | 201210574897.X | 申請日： | 2012-12-26 |
| 公開（公告）號： | CN103060782A | 公開（公告）日： | 2013-04-24 |
| 發明（設計）人： | 范翊;劉星元;郭曉陽 | 申請（專利權）人： | 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 |
| 主分類號： | C23C20/08 | 分類號： | C23C20/08 |
| 代理公司： | 長春菁華專利商標代理事務所 22210 | 代理人： | 張偉 |
| 地址： | 130033 吉*** | 國省代碼： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 透明 導電 tio sub ag 復合 薄膜 制備 方法 | ||
1.一種透明導電TiO2/Ag/TiO2復合薄膜的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
步驟1：將基底用洗潔精水溶液、無水乙醇、乙醚、丙酮、去離子水等清洗干凈；
步驟2：將鈦酸四丁酯和乙酸、無水乙醇攪拌混合，得到A溶液；將去離子水、無水乙醇、摻雜組分混合攪拌，得到B溶液；所述摻雜組分為Al、W、V、Nd、F的水溶性化合物中的一種或幾種；
步驟3：將步驟2中B溶液滴加入A溶液中，攪拌混合均勻，形成溶膠；
步驟4：將步驟3中得到的溶膠在室溫下陳化24小時以上，得到溶膠-凝膠；
步驟5：將步驟4中溶膠-凝膠涂布在步驟1的基底上；
步驟6：將步驟5得到的薄膜進行熱處理，空氣中熱處理溫度為50-300度，保溫時間為10-30分鐘，然后自然冷卻；
步驟7：將步驟6中得到的薄膜放入電子束設備中蒸發一層Ag膜；
步驟8：將步驟4中溶膠-凝膠涂布在步驟7得到的薄膜上；
步驟9：將步驟8得到的薄膜進行熱處理，空氣中熱處理溫度50-300度，保溫時間為10-30分鐘，自然冷卻。
2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述基底是玻璃、石英、硅片或者有機膜。
3.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，鈦酸四丁酯、無水乙醇、水、乙酸中的任意一種在總體積中的混合比例為0.5-80%?。
4.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，在步驟6、步驟9中TiO2薄膜厚度為10-50?nm。
5.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟7中Ag膜的厚度為8-16?nm。
6.根據權利要求1中所述的制備方法，其特征在于，摻雜組分可以是Al、W、V、Nd、F的水溶性化合物中的一種、二種或三種；兩種化合物混合時，每一種化合物的混合比例為0.5-60%；三種化合物混合時，每一種化合物的混合比例為0.5-50%。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C20-00 通過固態覆層化合物抑或覆層形成化合物懸浮液分解且覆層中不留存表面材料反應產物的化學鍍覆
C23C20-02 .鍍金屬材料
C23C20-06 .鍍金屬材料以外的無機材料
C23C20-08 ..鍍化合物、混合物或固溶體，例如硼化物、碳化物、氮化物
C23C20-04 ..鍍金屬
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