[發明專利]激光器

有效

• 申請號: 201210572832.1
• 申請日: 2012-12-26
• 公開（公告）號: CN103904536B
• 公開（公告）日: 2016-11-09
• 發明（設計）人: 朱景雷;朱鈞;李群慶;姜開利;馮辰;金國藩;范守善
• 申請（專利權）人: 清華大學;鴻富錦精密工業（深圳）有限公司
• 主分類號: H01S3/08
• 分類號: H01S3/08
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種激光器，其包括一全反鏡、一輸出鏡、一放電管和一工作介質，所述全反鏡和輸出鏡分別設置于所述放電管的兩端，所述全反鏡、輸出鏡和放電管組成一諧振腔，所述工作介質填充于所述諧振腔內，其特征在于，所述全反鏡具有一反射面，所述反射面上設置有微結構，所述微結構包括至少一凹環，所述凹環的深度及寬度均在0.5λ~2λ之間，其中，λ為所述激光器的工作波長。

2.如權利要求1所述的激光器，其特征在于，所述凹環的深度及寬度均為0.5λ。

3.如權利要求1所述的激光器，其特征在于，所述微結構包括多個同心且間隔設置的凹環。

4.如權利要求3所述的激光器，其特征在于，所述多個凹環具有相同的深度。

5.如權利要求3所述的激光器，其特征在于，所述多個凹環具有相同的寬度。

6.如權利要求3所述的激光器，其特征在于，任意兩個相鄰的所述凹環之間的間距均在0.5λ~2λ之間。

7.如權利要求3所述的激光器，其特征在于，任意兩個相鄰的所述凹環之間的間距均為0.5λ。

8.如權利要求1所述的激光器，其特征在于，所述微結構進一步包括一凹孔，該凹孔與所述至少一凹環同心且間隔設置。

9.如權利要求8所述的激光器，其特征在于，所述凹孔位于所述反射面的中心。

10.如權利要求8所述的激光器，其特征在于，所述凹孔的深度及直徑均在0.5λ~2λ之間。

11.如權利要求8所述的激光器，其特征在于，所述凹孔與所述至少一凹環具有相同的深度。

12.如權利要求11所述的激光器，其特征在于，所述凹孔與所述至少一凹環的深度均為0.5λ。

13.如權利要求8所述的激光器，其特征在于，所述凹孔的直徑與所述至少一凹環的深度相等。

14.如權利要求13所述的激光器，其特征在于，所述凹孔的直徑與所述至少一凹環的深度均為0.5λ。

15.如權利要求1所述的激光器，其特征在于，所述凹環的形狀為圓環。

16.如權利要求8所述的激光器，其特征在于，所述凹孔的形狀為圓柱。

17.如權利要求1所述的激光器，其特征在于，所述微結構的材料為金、鉑和鈀中的一種。

18.如權利要求1所述的激光器，其特征在于，所述反射面設置于所述全反鏡靠近所述輸出鏡的表面。

19.如權利要求1所述的激光器，其特征在于，所述全反鏡包括一本體和位于該本體上的一金屬膜。

20.如權利要求19所述的激光器，其特征在于，所述本體的材料為硅、二氧化硅和碳化硅中的一種，所述金屬膜的材料為金、鉑和鈀中的一種。

21.如權利要求1所述的激光器，其特征在于，所述工作介質為二氧化碳、氦氣、氖氣、氮氣和一氧化碳中的一種。