[發(fā)明專利]一種液相自組裝技術(shù)制備圖案化的ZnO薄膜的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210566375.5
• 申請日: 2012-12-24
• 公開（公告）號: CN103073048A
• 公開（公告）日: 2013-05-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 談國強(qiáng);楊薇;任慧君
• 申請（專利權(quán)）人: 陜西科技大學(xué)
• 主分類號: C01G9/02
• 分類號: C01G9/02
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 61200
• 代理人: 蔡和平

1.一種液相自組裝技術(shù)制備圖案化的ZnO薄膜的方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟一：前驅(qū)液的配置：將Zn(NO₃)₂·6H₂O和NH₄F溶于蒸餾水中，配成Zn(NO₃)₂·6H₂O濃度為0.05mol/L，NH₄F濃度為0.2~0.3mol/L的混合液，調(diào)節(jié)混合液的pH值為5.5，室溫下攪拌混合液至完全澄清，得到前驅(qū)液；

步驟二：基板的功能化：將基板洗滌干凈，于體積濃度為1%的OTS-甲苯溶液中浸泡制備OTS-SAMs膜，將OTS-SAMs膜干燥去除有機(jī)物后于紫外光下照射，得到表面具有功能化的OTS-SAMs膜的基板；

步驟三：薄膜的沉積：將表面具有功能化的OTS-SAMs膜的基板的功能化OTS-SAMs膜的一面朝下懸浮于前驅(qū)液表面，使功能化OTS-SAMs膜與前驅(qū)液接觸，在70℃～80℃沉積制備出非晶態(tài)薄膜；

步驟四：薄膜的晶化：將制備的非晶態(tài)薄膜干燥后放入馬弗爐中，于300℃保溫退火120min得到晶化的圖案化的ZnO薄膜。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液相自組裝技術(shù)制備圖案化的ZnO薄膜的方法，其特征在于：步驟一中采用濃度為4mol/L的HNO₃溶液和濃度為3mol/L的NaOH溶液調(diào)節(jié)混合液pH值。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液相自組裝技術(shù)制備圖案化的ZnO薄膜的方法，其特征在于：步驟二中基板洗滌的具體操作為：將基板分別置于去離子水、丙酮、無水乙醇中超聲洗滌10min。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液相自組裝技術(shù)制備圖案化的ZnO薄膜的方法，其特征在于：步驟二中基板于體積濃度為1%的OTS-甲苯溶液中浸泡的時(shí)間為30min，浸泡前先經(jīng)過紫外光下照射20min。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液相自組裝技術(shù)制備圖案化的ZnO薄膜的方法，其特征在于：步驟二中OTS-SAMs膜在波長為184.9nm的紫外光下照射40min。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液相自組裝技術(shù)制備圖案化的ZnO薄膜的方法，其特征在于：步驟二中干燥的具體條件為在120℃干燥5min。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液相自組裝技術(shù)制備圖案化的ZnO薄膜的方法，其特征在于：步驟三中沉積時(shí)間為20h。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液相自組裝技術(shù)制備圖案化的ZnO薄膜的方法，其特征在于：步驟四中的干燥在室溫下進(jìn)行。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-8中任意一項(xiàng)中所述的液相自組裝技術(shù)制備圖案化的ZnO薄膜的方法，其特征在于：步驟二中OTS-SAMs膜在紫外光下照射時(shí)在OTS-SAMs膜上覆蓋光掩膜。