[發明專利]一種CVD在線鍍功能膜廢氣干法凈化裝置

有效

• 申請號: 201210561625.6
• 申請日: 2012-12-22
• 公開（公告）號: CN103017178A
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發明（設計）人: 彭壽;單傳麗;甘治平;王東;石麗芬;金良茂;張家林
• 申請（專利權）人: 蚌埠玻璃工業設計研究院;中國建材國際工程集團有限公司
• 主分類號: F23G7/06
• 分類號: F23G7/06;F23J15/02;B01D50/00;B01D53/02;B01D53/81;B01D53/68
• 代理公司: 安徽省蚌埠博源專利商標事務所 34113
• 代理人: 楊晉弘

技術領域

本發明及一種工業廢氣處理系統，特別涉及一種CVD在線鍍功能膜廢氣干法凈化裝置。

背景技術

近年來，隨著城市工業的不斷發展，大氣污染日益嚴重，空氣質量進一步惡化，環境問題已成為全球性的問題。CVD在線鍍功能膜生產過程中會產生大量的廢氣，該廢氣成分比較復雜、濃度較高、溫度較高并具有強腐蝕性，對環境和人體的危害很大。必須進行凈化處理才能安全排放，這就要求CVD在線鍍功能膜廢氣的凈化系統穩定性能好、安全高效、運行成本低、能滿足連續生產處理要求、能處理高溫高腐蝕性且成分復雜的廢氣且處理過程中避免其他污染的產生。?

目前CVD在線鍍膜廢氣常用的凈化系統有濕法凈化系統、冷凝回收法凈化系統和生物法凈化系統等，其中濕法凈化系統，是最為常用的一種處理方法，它具有去除效率高、處理工藝成熟等優點，但在凈化系統中存在堿液噴淋塔裝置，該裝置使用大量的堿液來去除廢氣中的酸性氣體，在去除酸性氣體以后又會產生水處理的問題，無形中提高了成本。因為有液體的加入也會使廢氣中的酸氣變成酸液，這就造成了對凈化設備的腐蝕，降低了其使用壽命，也影響了浮法玻璃在線鍍功能膜的正常生產。冷凝回收法通過將操作溫度控制在VOC沸點以下而將VOC冷凝下來，此種方法可高效率的回收廢氣中的各物質，使其變廢為寶，但是這種凈化系統需要對廢氣的溫度和壓力進行精確的控制，難度較大，對于成分復雜的在線鍍膜廢氣處理效率較低。生物法雖然在凈化低濃度有機污染物時效果明顯，但存在氣阻大、降解速率慢、設備體積龐大、對于處理高濃度高溫氣體效果不顯著等缺點。上述幾種處理方法都一定的局限性，而無法滿足CVD在線鍍功能膜廢氣處理要求。經過廣泛檢索，尚未發現有相關的技術方案。

發明內容

本發明的目的是為了解決現階段CVD在線鍍膜廢氣凈化裝置不能滿足同時處理高溫、酸性、含塵和含氟的鍍膜廢氣的要求，且在凈化過程中又會產生水污染等缺點，而提出的一種CVD在線鍍功能膜廢氣干法凈化裝置。

為了實現上述目的，本發明采用了如下技術方案：一種CVD在線鍍功能膜廢氣干法凈化裝置，包括氣源管道H，氣源管道H連接燃燒室，在氣源管道H上連接變頻廢氣風機，在燃燒室的兩側分別連接一個燃燒器，燃燒器通過燃料管道外置燃料連接。燃燒室通過管道連接超高溫靜電除塵器，在超高溫靜電除塵器的下端設有出料口。超高溫靜電除塵器通過管道連接活性炭纖維凈化器，活性炭纖維凈化器通過管道將凈化后的氣體排放到大氣中，在管道上設有引風機，其特征在于還包括：在超高溫靜電除塵器與活性炭纖維凈化器之間的管道上還依次設置了干式脫酸裝置和布袋除塵器，干式脫酸器的側端口D通過管道連接布袋除塵器的端口E，布袋除塵器的作用是收集廢氣中粉塵顆粒物。

干式脫酸裝置的下端口A通過管道與超高溫靜電除塵器的端口B相連接，干式脫酸器的頂部端口C通過管道N與供堿倉相連接，在干式脫酸器的下方通過管道M連接回收倉。

布袋除塵器的端口F通過管道連接活性炭纖維凈化器，布袋除塵器的下端設有出料口G。

在上述技術方案的基礎上，可以有以下進一步的技術方案：所述的干式脫酸器的內部分別設有前擾流板和后擾流板。在管道N上設有堿料泵，堿料泵供堿倉內的堿性漿粉通過管道泵如干式脫酸裝置內，堿性漿粉自上而下噴出對酸性含氟鍍膜廢氣進行脫酸去氟凈化，因在干式脫酸器內設有擾流板可使反應更加充分。在管道M上設有回收泵，回收泵將反應后的反應物抽進回收倉內進行回收。

本發明的優點在于：本發明提供的裝置采用干法凈化法，消除了現有濕法凈化裝置產生水污染的隱患，降低了運行成本，提高了設備的使用壽命；本裝置應用前景廣泛，對于成分復雜，溫度較高有腐蝕性的廢氣，無論可燃或者不可燃，都能進行充分高效的凈化處理；本裝置能同時處理高溫、酸性、含塵及含重金屬等鍍膜廢氣，且凈化效率高，能達到99.99%以上的凈化效率。

附圖說明

圖1是本發明的基本結構示意圖。

具體實施方式

如圖1所示，本發明提供的一種CVD在線鍍功能膜廢氣干法凈化裝置，包括氣源管道H，氣源管道H連接燃燒室2，在氣源管道H上連接變頻廢氣風機1，在燃燒室2的兩側分別連接一個燃燒器3，燃燒器通過燃料管道14外置燃料連接。燃燒室2通過管道連接超高溫靜電除塵器4，在超高溫靜電除塵器4的下端設有出料口。超高溫靜電除塵器4通過管道連接活性炭纖維凈化器8，活性炭纖維凈化器8通過管道連接引風機9，其特征在于還包括：