[發明專利]一種CVD在線鍍功能膜廢氣干法凈化裝置有效
| 申請號： | 201210561625.6 | 申請日： | 2012-12-22 |
| 公開（公告）號： | CN103017178A | 公開（公告）日： | 2013-04-03 |
| 發明（設計）人： | 彭壽;單傳麗;甘治平;王東;石麗芬;金良茂;張家林 | 申請（專利權）人： | 蚌埠玻璃工業設計研究院;中國建材國際工程集團有限公司 |
| 主分類號： | F23G7/06 | 分類號： | F23G7/06;F23J15/02;B01D50/00;B01D53/02;B01D53/81;B01D53/68 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源專利商標事務所 34113 | 代理人： | 楊晉弘 |
| 地址： | 233010 安徽*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 cvd 在線 功能 廢氣 凈化 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種CVD在線鍍功能膜廢氣干法凈化裝置，包括氣源管道H，在氣源管道H上連接變頻廢氣風機（1），氣源管道H連接燃燒室（2），在燃燒室（2）上設有燃燒器（3），燃燒室（2）通過管道連接超高溫靜電除塵器（4），超高溫靜電除塵器（4）通過管道連接活性炭纖維凈化器（8），活性炭纖維凈化器（8）通過管道連接引風機（9），其特征在于還包括：
a、在超高溫靜電除塵器（4）與活性炭纖維凈化器（8）之間的管道上還依次設置了干式脫酸裝置（5）和布袋除塵器（7），干式脫酸器（5）的側端口D通過管道連接布袋除塵器（7）的端口E，干式脫酸裝置（5）的下端口A通過管道與超高溫靜電除塵器（4）的端口B相連接，干式脫酸器（5）的頂部端口C通過管道N與供堿倉（11）相連接，在干式脫酸器（5）的下方通過管道M連接回收倉（12）；
b、布袋除塵器（7）的端口F通過管道連接活性炭纖維凈化器（8），布袋除塵器（7）的下端設有出料口G。
2.根據權利要求1所述的一種CVD在線鍍功能膜廢氣干法凈化裝置，其特征在于：所述的干式脫酸器（5）的內部分別設有前擾流板6a和后擾流板6b，在管道N上設有堿料泵（10b），管道M上設有回收泵（10a）。
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