[發明專利]半導體生產系統

無效

• 申請號: 201210559043.4
• 申請日: 2012-12-20
• 公開（公告）號: CN103076772A
• 公開（公告）日: 2013-05-01
• 發明（設計）人: 蘇育家
• 申請（專利權）人: 光達光電設備科技（嘉興）有限公司
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 鄭瑋

1.一種半導體生產系統，其包括生產設備和生產設備控制系統，所述生產設備控制系統用于控制所述生產設備進行半導體生產工藝，其特征在于：所述生產設備控制系統進一步包括無線通信模塊，所述無線通信模塊用于與移動終端設備通信。

2.根據權利要求1所述的半導體生產系統，其特征在于：所述無線通信模塊為一移動通信模塊，所述移動通信模塊通過移動通信網絡與所述移動終端設備通信。

3.根據權利要求2所述的半導體生產系統，其特征在于：所述移動終端設備為一移動電話。

4.根據權利要求1所述的半導體生產系統，其特征在于：所述生產設備控制系統包括控制所述生產設備的控制器，所述無線通信模塊與所述控制器連接，所述控制器收集所述生產設備的狀態信息。所述控制器將收集到的狀態信息全部或部分通過所述無線通信模塊發送至所述移動終端設備。

5.根據權利要求1所述的半導體生產系統，其特征在于：所述半導體生產系統包括多個所述生產設備，所述生產設備控制系統還包括一工業自動化系統，所述工業自動化系統包括工業自動化系統終端和多個控制器，所述工業自動化系統終端和所述多個控制器相互連接并通信，所述多個控制器分別對應控制所述多個生產設備，所述無線通信模塊與所述工工業自動化系統終端連接，所述控制器收集對應生產設備的狀態信息，并將所述狀態信息傳輸至所述工業自動化系統終端，所述工業自動化系統終端將收集到的狀態信息全部或部分通過所述無線通信模塊發送至所述移動終端設備。

6.根據權利要求4或5所述的半導體生產系統，其特征在于：所述狀態信息包括設備狀態信息、工藝參數信息和/或工藝執行進度信息。

7.根據權利要求6所述的半導體生產系統，其特征在于：所述狀態信息包括實時信息和非實時信息，所述無線通信模塊定時向所述移動終端發送所述非實時信息，所述無線通信模塊實時發送所述實時信息。

8.根據權利要求6所述的半導體生產系統，其特征在于：所述無線通信模塊進一步接受從所述移動終端發送來的控制信號；所述生產設備控制系統根據所述控制信號執行控制操作。

9.根據權利要求8所述的半導體生產系統，其特征在于：所述控制信號包括控制生產設備改變設備狀態、改變工藝參數或執行一半導體工藝的控制信號。

10.根據權利要求8所述的半導體生產系統，其特征在于：所述控制信號包括要求所述生產設備控制系統通過所述無線通信模塊向所述移動終端發送所述全部或某一特定狀態信息。

11.根據權利要求1所述的半導體生產系統，其特征在于：所述無線通信模塊外接一信號天線，所述信號天線用于發射或接受無線信號；至少所述生產設備設置在一電磁屏蔽的半導體生產空間內，至少所述信號天線設置在所述半導體生產空間外。

12.根據權利要求11所述的半導體生產系統，其特征在于：半導體生產空間為電磁屏蔽的半導體生產廠房或生產車間。

13.根據權利要求12所述的半導體生產系統，其特征在于：所述無線通信模塊設置在所述半導體生產空間內，所述信號天線與所述無線通信模塊之間通過一電磁屏蔽線連接。