[發明專利]N型直拉單晶硅的制備方法無效
| 申請號： | 201210553674.5 | 申請日： | 2012-12-18 |
| 公開（公告）號： | CN103014836A | 公開（公告）日： | 2013-04-03 |
| 發明（設計）人： | 喬松;司佳勇;周浩;唐磊;尹東坡;郭凱 | 申請（專利權）人： | 英利能源（中國）有限公司 |
| 主分類號： | C30B15/00 | 分類號： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 王寶筠 |
| 地址： | 071051 河*** | 國省代碼： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 型直拉 單晶硅 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種N型直拉單晶硅的制備方法，等徑過程包括等徑初期，其特征在于，采用的工藝條件包括，在所述等徑初期的平均拉速為1.2~1.6mm/min。
2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，采用的工藝條件還包括，所述等徑過程中的晶轉為8~12rpm。
3.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，采用的工藝條件還包括，所述等徑過程中的堝轉為5~8rpm。
4.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，采用的工藝條件還包括，所述等徑過程中的氬氣流量為40~70L/min。
5.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，采用的工藝條件還包括，所述等徑過程中的氬氣的壓力為15~20torr。
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