[發(fā)明專利]一種用于感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)的快速接頭

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210552689.X
• 申請(qǐng)日: 2012-12-18
• 公開（公告）號(hào): CN103867831A
• 公開（公告）日: 2014-06-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃惠良;李雪峰;陳子勇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海鴻輝光通科技股份有限公司
• 主分類號(hào): F16L37/23
• 分類號(hào): F16L37/23
• 代理公司: 上海兆豐知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(有限合伙) 31241
• 代理人: 倪繼祖

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種用于感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)的快速接頭。

背景技術(shù)

感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)主要用于生產(chǎn)晶圓，在生產(chǎn)過程中，有專用工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)對(duì)其進(jìn)行溫控，起到保溫的作用。

現(xiàn)有工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)都是直接從水源端通過水管通入感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)中，長(zhǎng)期使用后，水管中會(huì)堆積很多的水垢，進(jìn)而很容易造成水管的堵塞，由此，工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)起不到溫控和保溫的作用，大大影響了晶圓的生產(chǎn)質(zhì)量，造成大量廢品、次品的出現(xiàn)，對(duì)企業(yè)造成極大的損失。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的，就是為了解決上述問題而提供了一種用于感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)的快速接頭。

本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的：

本發(fā)明的一種用于感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)的快速接頭，包括接頭母體和與之適配的插頭，所述接頭母體包括中空的接頭主體、套筒和彈簧，其中，

所述接頭主體的前端設(shè)有環(huán)形凹槽，所述環(huán)形凹槽的底面上設(shè)有滾珠通孔，所述滾珠通孔內(nèi)設(shè)有滾珠，所述套筒套設(shè)于所述接頭主體的環(huán)形凹槽部位，且所述套筒的內(nèi)壁設(shè)有可擠壓滾珠使其突出于所述接頭主體內(nèi)壁的凸緣，所述彈簧套設(shè)于所述接頭主體的環(huán)形凹槽部位，且該彈簧兩端分別抵住所述套筒的凸緣和所述接頭本體環(huán)形凹槽的側(cè)槽壁；

所述插頭外側(cè)設(shè)有與所述滾珠配合的凸起，且所述插頭的外徑從其前端至所述凸起處漸增。

上述的一種用于感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)的快速接頭，其中，所述滾珠通孔的內(nèi)徑由所述接頭主體內(nèi)壁端朝外漸增。

本發(fā)明快速接頭可實(shí)現(xiàn)工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)用水管快速便捷的斷開和接合，斷開水管后，即可對(duì)水管中的水垢進(jìn)行清理，清理完畢后再將水管接合，操作十分簡(jiǎn)便，保證了工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行，大大提高了感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)的生產(chǎn)穩(wěn)定性。

附圖說明

圖1是本發(fā)明接頭母體的剖視圖；

圖2是本發(fā)明插頭的剖視圖；

圖3是本發(fā)明接頭母體和插頭的裝配示意圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明。

請(qǐng)參閱圖1和圖2，本發(fā)明用于感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)的快速接頭包括接頭母體1和與之適配的插頭2。

請(qǐng)參閱圖1，接頭母體1包括中空的接頭主體11、套筒12和彈簧13，其中，接頭主體11的前端設(shè)有環(huán)形凹槽111，環(huán)形凹槽111的底面上設(shè)有滾珠通孔112，滾珠通孔112內(nèi)設(shè)有滾珠13，滾珠通孔112的內(nèi)徑由接頭主體11內(nèi)壁端朝外漸增，套筒12套設(shè)于接頭主體11的環(huán)形凹槽111部位，且套筒12的內(nèi)壁設(shè)有可擠壓滾珠13使其突出于接頭主體11內(nèi)壁的凸緣121，彈簧13套設(shè)于接頭主體11的環(huán)形凹槽111部位，且該彈簧13兩端分別抵住套筒12的凸緣121和接頭本體11環(huán)形凹槽111的側(cè)槽壁；

請(qǐng)參閱圖2，插頭2外側(cè)設(shè)有與滾珠112配合的凸起21，且插頭2的外徑從其前端至凸起21處漸增。

請(qǐng)參閱圖3，裝配時(shí)，將插頭2插入到接頭母體1內(nèi)，由于插頭2的外徑從其前端至凸起21處漸增，插頭2前端的外壁可逐漸推動(dòng)滾珠13沿著滾珠通孔112朝外移動(dòng)，當(dāng)插頭2的凸起21通過滾珠13后，由于此處插頭2的外徑驟減，滾珠13在套筒12凸緣121的擠壓作用下突出于接頭主體11的內(nèi)壁，進(jìn)而抵住插頭2的凸起21，使得插頭2被鎖緊于接頭母體1內(nèi)。

當(dāng)拆卸時(shí)，推動(dòng)套筒12向后側(cè)移動(dòng)，同時(shí)向外拔出插頭2，此時(shí)滾珠13沿著滾珠通孔112朝外移動(dòng)，使得插頭2的凸起21可自由地向外移動(dòng)，進(jìn)而插頭2離開接頭母體1，套筒12在彈簧回復(fù)力的作用下復(fù)位。

以上實(shí)施例僅供說明本發(fā)明之用，而非對(duì)本發(fā)明的限制，有關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，還可以作出各種變換或變型，因此所有等同的技術(shù)方案也應(yīng)該屬于本發(fā)明的范疇，應(yīng)由各權(quán)利要求所限定。