[發(fā)明專利]晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210550707.0
• 申請(qǐng)日: 2012-12-18
• 公開（公告）號(hào): CN103862468A
• 公開（公告）日: 2014-06-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王福清;張耀仁;林宗穎
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上銀科技股份有限公司
• 主分類號(hào): B25J9/10
• 分類號(hào): B25J9/10;H01L21/677
• 代理公司: 廈門市新華專利商標(biāo)代理有限公司 35203
• 代理人: 朱凌

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明為一種產(chǎn)業(yè)用機(jī)器人，尤指一種應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的晶圓搬運(yùn)機(jī)器人。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體制程中為了減少人力成本及提高產(chǎn)出，利用多種機(jī)器人來(lái)協(xié)助搬運(yùn)對(duì)象，而現(xiàn)有常見的晶圓搬運(yùn)機(jī)器人的機(jī)構(gòu)如中國(guó)臺(tái)灣特許公開第2009－500865號(hào)專利，該案中，機(jī)器人的基座中具有驅(qū)動(dòng)部，驅(qū)動(dòng)部上設(shè)有一塔柱，該驅(qū)動(dòng)部可帶動(dòng)該塔柱旋轉(zhuǎn)，而該驅(qū)動(dòng)部分別與一滾珠螺桿及兩線性滑軌作連接，而借由直線驅(qū)動(dòng)部驅(qū)動(dòng)該滾珠螺桿運(yùn)行時(shí)，帶動(dòng)該驅(qū)動(dòng)部作Z軸向線性平移，而兩該線性滑軌提供導(dǎo)引的功能；

而前述現(xiàn)有技術(shù)存在有以下問題點(diǎn)：

因?yàn)樵摑L珠螺桿與線性滑軌的相對(duì)位置位于同一平面上，故線性滑軌所承受的力矩較大且也會(huì)引響到滾珠螺桿運(yùn)行時(shí)順暢度，另因此種型式的配置使得線性滑軌必須使用兩支，故增加了基座的加工及零件成本，還有延長(zhǎng)了滾珠螺桿及線性滑軌的組立校正時(shí)程，實(shí)有改良的必要。

基于上述現(xiàn)有技術(shù)的問題點(diǎn)，本發(fā)明人經(jīng)過研究改良后，終有確能達(dá)成以下發(fā)明的目的的發(fā)明誕生。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明目的在于提供一種晶圓搬運(yùn)機(jī)器人，其具有便于組立且剛性較佳的立柱驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，以降低組立成本及提升質(zhì)量。

為達(dá)上述的目的，本發(fā)明的解決方案是：

一種晶圓搬運(yùn)機(jī)器人，包含：

一基座，其包含：一底板、一立板及頂板，該立板外型為長(zhǎng)條型板狀的型態(tài)，定義該長(zhǎng)方向的兩端分別為第一端及第二端，該第一端及第二端分別供該底板與頂板固定而形成一Ｕ字型的結(jié)構(gòu)型態(tài)，該頂板設(shè)有一穿設(shè)孔；

一立柱，穿設(shè)于該穿設(shè)孔，并可相對(duì)該穿設(shè)孔往復(fù)位移；

一滾珠螺桿，包含：一螺桿及一螺帽，該螺桿沿一方向延伸為長(zhǎng)條狀結(jié)構(gòu)，定義該延伸方向?yàn)檩S方向，該螺桿的軸方向的兩端分別定義為第一端及第二端，該第一端固定于該頂板，該第二端固定于該底板，其設(shè)有螺旋狀的第一滾動(dòng)溝；該螺帽設(shè)有供該螺桿穿設(shè)的貫穿孔，該貫穿孔的內(nèi)緣面設(shè)有相對(duì)該第一滾動(dòng)溝的第二滾動(dòng)溝，該第一滾動(dòng)溝及第二滾動(dòng)溝之間設(shè)有多個(gè)第一滾動(dòng)件；該螺帽與該立柱連結(jié)；

一線性滑軌，包含：一滑軌及一滑塊，該滑軌沿一方向延伸為長(zhǎng)條狀結(jié)構(gòu)，定義該延伸方向?yàn)檩S方向，該滑軌固定于該立板，該滑軌的軸方向兩側(cè)分別設(shè)有第三滾動(dòng)溝；該滑塊套設(shè)于該滑軌、并可相對(duì)該滑軌運(yùn)行，該滑塊設(shè)有相對(duì)該第三滾動(dòng)溝的第四滾動(dòng)溝，該第三滾動(dòng)溝及第四滾動(dòng)溝之間設(shè)有多個(gè)第二滾動(dòng)件；該滑塊與該立柱連結(jié)；

一動(dòng)力源，其固定于該底板，該動(dòng)力源與該螺桿的第二端連接并驅(qū)動(dòng)該螺桿旋轉(zhuǎn)；

其中，由該螺桿的中心延伸一條延伸線，由該滑軌的中心延伸一條延伸線，兩該延伸線交于一點(diǎn)，該點(diǎn)與該立柱的中心點(diǎn)約重疊，且兩該延伸線的夾角為90度；?

其中，該螺桿經(jīng)由該動(dòng)力源驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)時(shí)，使該滑塊作線性位移并帶動(dòng)該立柱相對(duì)該穿設(shè)孔位移。

進(jìn)一步，立板對(duì)面設(shè)有一輔助立板。

進(jìn)一步，更包含一載座，其設(shè)有一基座面、貫穿該基座面的容置孔、一套孔及一第二配合面，該基座面與該立柱的底端連結(jié)，該容置孔相對(duì)該立柱所設(shè)的容置空間設(shè)置，該第二配合面與該滑塊所設(shè)的第一配合面作連結(jié)；該螺帽套設(shè)于該套孔。

進(jìn)一步，更包含一馬達(dá)底座固定于該底板，該馬達(dá)底座設(shè)有一第二通孔，該第二通孔提供該動(dòng)力源的軸心穿設(shè)其中，該軸心設(shè)有一第一皮帶輪。

進(jìn)一步，頂板更設(shè)有一安裝孔。

進(jìn)一步，更包含一螺桿底座及兩軸承座，該軸承底座固定于該底板，該螺桿底座設(shè)有一第一通孔，兩該軸承座分別固定于該安裝孔及該螺桿底座，兩該軸承座中設(shè)有軸承，該第一端穿設(shè)于固定在該安裝孔的軸承座，該第二端穿設(shè)于該第一通孔后，再穿設(shè)在該螺桿底座的軸承座并凸伸出于該軸承座外部，凸伸于該軸承座外部的第二端設(shè)有該第二皮帶輪，該第一皮帶輪與第二皮帶輪借由一皮帶套設(shè)聯(lián)結(jié)。

進(jìn)一步，該動(dòng)力源相對(duì)該容置空間及容置孔設(shè)置，該立柱縮于該基座內(nèi)部時(shí)，該動(dòng)力源有局部會(huì)容置于該容置空間及容置孔。

采用上述結(jié)構(gòu)后，借由該線性滑軌與滾珠螺桿的配置關(guān)系，以降低在驅(qū)動(dòng)該立柱時(shí)所產(chǎn)生的力矩，而使該立柱的運(yùn)行精度提升。當(dāng)該立柱縮于該基座內(nèi)部時(shí)，該動(dòng)力源有局部會(huì)容置于該容置空間及容置孔，如此，即可縮小該基座整體的體積，并簡(jiǎn)化該基座的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明晶圓搬運(yùn)機(jī)器人系統(tǒng)圖；

圖2為本發(fā)明晶圓搬運(yùn)機(jī)器人的立柱驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)立體圖；

圖3為本發(fā)明晶圓搬運(yùn)機(jī)器人組合圖；

圖4為本發(fā)明晶圓搬運(yùn)機(jī)器人俯視圖；

圖5為本發(fā)明晶圓搬運(yùn)機(jī)器人作動(dòng)狀態(tài)圖，為直向剖視圖；