[發(fā)明專利]晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210550707.0
• 申請日: 2012-12-18
• 公開（公告）號: CN103862468A
• 公開（公告）日: 2014-06-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王福清;張耀仁;林宗穎
• 申請（專利權(quán)）人: 上銀科技股份有限公司
• 主分類號: B25J9/10
• 分類號: B25J9/10;H01L21/677
• 代理公司: 廈門市新華專利商標(biāo)代理有限公司 35203
• 代理人: 朱凌

1.一種晶圓搬運(yùn)機(jī)器人，其特征在于，包含：

一基座，其包含：一底板、一立板及頂板，該立板外型為長條型板狀的型態(tài)，定義該長方向的兩端分別為第一端及第二端，該第一端及第二端分別供該底板與頂板固定而形成一Ｕ字型的結(jié)構(gòu)型態(tài)，該頂板設(shè)有一穿設(shè)孔；

一立柱，穿設(shè)于該穿設(shè)孔，并可相對該穿設(shè)孔往復(fù)位移；

一滾珠螺桿，包含：一螺桿及一螺帽，該螺桿沿一方向延伸為長條狀結(jié)構(gòu)，定義該延伸方向?yàn)檩S方向，該螺桿的軸方向的兩端分別定義為第一端及第二端，該第一端固定于該頂板，該第二端固定于底板，其設(shè)有螺旋狀的第一滾動(dòng)溝；該螺帽設(shè)有供該螺桿穿設(shè)的貫穿孔，該貫穿孔的內(nèi)緣面設(shè)有相對第一滾動(dòng)溝的第二滾動(dòng)溝，該第一滾動(dòng)溝及第二滾動(dòng)溝之間設(shè)有多個(gè)第一滾動(dòng)件；螺帽與立柱連結(jié)；

一線性滑軌，包含：一滑軌及一滑塊，該滑軌沿一方向延伸為長條狀結(jié)構(gòu)，定義該延伸方向?yàn)檩S方向，該滑軌固定于該立板，該滑軌的軸方向兩側(cè)分別設(shè)有第三滾動(dòng)溝；該滑塊套設(shè)于該滑軌、并可相對滑軌運(yùn)行，該滑塊設(shè)有相對該第三滾動(dòng)溝的第四滾動(dòng)溝，該第三滾動(dòng)溝及第四滾動(dòng)溝之間設(shè)有多個(gè)第二滾動(dòng)件；該滑塊與該立柱連結(jié)；

一動(dòng)力源，其固定于底板，該動(dòng)力源與該螺桿的第二端連接并驅(qū)動(dòng)螺桿旋轉(zhuǎn)；

其中，由該螺桿的中心延伸一條延伸線，由該滑軌的中心延伸一條延伸線，兩延伸線交于一點(diǎn)，該點(diǎn)與該立柱的中心點(diǎn)約重疊，且兩該延伸線的夾角為90度；

其中，該螺桿經(jīng)由該動(dòng)力源驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)時(shí)，使該滑塊作線性位移并帶動(dòng)該立柱相對該穿設(shè)孔位移。

2.如權(quán)利要求1所述的晶圓搬運(yùn)機(jī)器人，其特征在于：該立板對面設(shè)有一輔助立板。

3.如權(quán)利要求1所述的晶圓搬運(yùn)機(jī)器人，其特征在于：更包含一載座，其設(shè)有一基座面、貫穿該基座面的容置孔、一套孔及一第二配合面，該基座面與該立柱的底端連結(jié)，該容置孔相對該立柱所設(shè)的容置空間設(shè)置，該第二配合面與該滑塊所設(shè)的第一配合面作連結(jié)；該螺帽套設(shè)于該套孔。

4.如權(quán)利要求1所述的晶圓搬運(yùn)機(jī)器人，其特征在于：更包含一馬達(dá)底座固定于該底板，該馬達(dá)底座設(shè)有一第二通孔，該第二通孔提供該動(dòng)力源的軸心穿設(shè)其中，該軸心設(shè)有一第一皮帶輪。

5.如權(quán)利要求4所述的晶圓搬運(yùn)機(jī)器人，其中，該頂板更設(shè)有一安裝孔。

6.如權(quán)利要求5所述的晶圓搬運(yùn)機(jī)器人，其特征在于：更包含一螺桿底座及兩軸承座，該軸承底座固定于該底板，該螺桿底座設(shè)有一第一通孔，兩該軸承座分別固定于該安裝孔及該螺桿底座，兩該軸承座中設(shè)有軸承，該第一端穿設(shè)于固定在該安裝孔的軸承座，該第二端穿設(shè)于該第一通孔后，再穿設(shè)在該螺桿底座的軸承座并凸伸出于該軸承座外部，凸伸于該軸承座外部的第二端設(shè)有該第二皮帶輪，該第一皮帶輪與第二皮帶輪借由一皮帶套設(shè)聯(lián)結(jié)。

7.如權(quán)利要求3所述的晶圓搬運(yùn)機(jī)器人，其特征在于：該動(dòng)力源相對該容置空間及容置孔設(shè)置，該立柱縮于該基座內(nèi)部時(shí)，該動(dòng)力源有局部會容置于該容置空間及容置孔。