[發(fā)明專利]已做發(fā)射區(qū)推進的三極管hfe的二次增大方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210548254.8
• 申請日: 2012-12-17
• 公開（公告）號: CN103050402A
• 公開（公告）日: 2013-04-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 彭充;徐國耀;高志偉;趙彥云
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳深愛半導(dǎo)體股份有限公司
• 主分類號: H01L21/331
• 分類號: H01L21/331
• 代理公司: 廣州華進聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 吳平

1.一種已做發(fā)射區(qū)推進的三極管小信號正向電流增益的二次增大方法，其特征在于，包括下列步驟：

測試晶圓上三極管的小信號正向電流增益；

若小信號正向電流增益低于合格值，則對所述晶圓進行小信號正向電流增益的二次增大，具體包括：

將所述晶圓置于擴散爐內(nèi)，爐內(nèi)環(huán)境為第一溫度且通入保護氣體；

將所述擴散爐的爐內(nèi)溫度升溫至第二溫度；

將所述擴散爐在第二溫度附近保溫一段時間；保溫時間由需要達到的小信號正向電流增益決定，增益越大所述保溫時間越長；

將所述爐內(nèi)溫度降溫至第三溫度，然后取出所述晶圓；

所述第一溫度為600～800攝氏度，所述第二溫度為1000～1100攝氏度，所述第三溫度為600～800攝氏度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的已做發(fā)射區(qū)推進的三極管小信號正向電流增益的二次增大方法，其特征在于，所述保護氣體為氧氣，所述將所述擴散爐的爐內(nèi)溫度升溫至第二溫度的步驟中保持氧氣環(huán)境，所述將擴散爐在第二溫度附近保溫一段時間的過程中通入氮氣使?fàn)t內(nèi)變?yōu)榈獨猸h(huán)境。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的已做發(fā)射區(qū)推進的三極管小信號正向電流增益的二次增大方法，其特征在于，所述第二溫度為1050攝氏度。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的已做發(fā)射區(qū)推進的三極管小信號正向電流增益的二次增大方法，其特征在于，所述第一溫度和第三溫度為700攝氏度。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的已做發(fā)射區(qū)推進的三極管小信號正向電流增益的二次增大方法，其特征在于，所述需要達到的小信號正向電流增益和保溫時間滿足如下關(guān)系：其中T為所述保溫時間，單位分鐘，h_fe為所述小信號正向電流增益。