[發明專利]光波導透鏡及其制造方法在審
| 申請號： | 201210547440.X | 申請日： | 2012-12-17 |
| 公開（公告）號： | CN103869413A | 公開（公告）日： | 2014-06-18 |
| 發明（設計）人： | 黃新舜 | 申請（專利權）人： | 鴻富錦精密工業（深圳）有限公司;鴻海精密工業股份有限公司 |
| 主分類號： | G02B6/124 | 分類號： | G02B6/124;G02B6/136 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 518109 廣東省深圳市*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 波導 透鏡 及其 制造 方法 | ||
技術領域
本發明涉及一種光波導透鏡及其制造方法。
背景技術
集成光學中普遍采用方向性較佳的激光作為光源，然而激光發出的光束仍具有一定的發散角，如果直接讓光源與光學元件對接，光束中的發散光線將無法進入光學元件，光利用率低。為了增加光利用率，一般會在原有的光學元件的基礎上鍍一層高折射率薄膜，但是選擇能夠跟原有的光學元件相匹配并且成本低的薄膜相當困難。
發明內容
有鑒于此，有必要提供一種能夠提高光利用率且制程簡單，制造成本低的光波導透鏡及其制造方法。
一種光波導透鏡，其包括一個基底、一個形成于該基底上的平板光波導及一個形成于該平板光波導上的介質光柵。該平板光波導用于與一個激光光源對接以接收該激光光源發出的激光束，該介質光柵沿平行于該激光束的入射方向設置，并與該平板光波導構成一個衍射型光波導透鏡以會聚該激光束。
一種制造上述光波導透鏡的制造方法，其包括以下步驟：
提供基底；
在該基底上形成平板光波導；
在該平板光波導上鍍上一個遮擋層；
將設置有該遮擋層的基底浸入第一種蝕刻液中進行濕式蝕刻形成介質光柵；及
去掉該遮擋層形成光波導透鏡。
本發明的光波導透鏡及其制造方法，該平板光波導加載該介質光柵的部分的等效折射率變大，提高了光利用率，而且不需要再采用高折射率薄膜，避免了選擇低成本高折射率薄膜來與基板匹配的問題，另外采用通過在基底上設置遮擋層，再進行濕蝕刻，整個制程簡單，制造成本低。
附圖說明
圖1為本發明提供的光波導透鏡的結構示意圖。
圖2為圖1的光波導透鏡沿線II-II的剖面示意圖。
圖3為圖1中的介質光柵的平面示意圖。
圖4為本發明提供的光波導透鏡的制造方法的制程示意圖。
圖5為本發明提供的光波導透鏡的制造方法的流程圖。
主要元件符號說明
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于鴻富錦精密工業（深圳）有限公司;鴻海精密工業股份有限公司，未經鴻富錦精密工業（深圳）有限公司;鴻海精密工業股份有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201210547440.X/2.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
