[發明專利]光波導透鏡及其制造方法

在審

• 申請號: 201210547440.X
• 申請日: 2012-12-17
• 公開（公告）號: CN103869413A
• 公開（公告）日: 2014-06-18
• 發明（設計）人: 黃新舜
• 申請（專利權）人: 鴻富錦精密工業（深圳）有限公司;鴻海精密工業股份有限公司
• 主分類號: G02B6/124
• 分類號: G02B6/124;G02B6/136
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種光波導透鏡，其包括一個基底、一個形成于該基底上的平板光波導及一個形成于該平板光波導上的介質光柵，該平板光波導用于與一個激光光源對接以接收該激光光源發出的激光束，該介質光柵沿平行于該激光束的入射方向設置，并與該平板光波導構成一個衍射型光波導透鏡以會聚該激光束。

2.如權利要求1所述的光波導透鏡，其特征在于，該基底的材料采用鈮酸鋰晶體。

3.如權利要求1所述的光波導透鏡，其特征在于，該基底基本呈矩形，并包括一個頂面及一個與該頂面連接的側面，該平板光波導通過向該頂面鍍上金屬鈦后高溫將金屬鈦擴散入該基底而形成，該平板光波導為矩形，該頂面即為該平板光波導的頂面，該側面為該平板光波導的側面。

4.如權利要求3所述的光波導透鏡，其特征在于，該介質光柵通過從該平板光波導的頂面蝕刻該平板光波導而形成。

5.如權利要求3所述的光波導透鏡，其特征在于，該介質光柵是一個啁啾光柵，其包括一個位于中間的第一介質部及多個對稱分布于該第一介質部兩側的第二介質部，該第一介質部及該第二介質的數量之和為奇數，該第一介質部與多個第二介質部均為矩形且互相平行設置，該第一介質部的寬度大于每個第二介質部的寬度，且從該第一介質部到遠離該第一介質部的方向，該多個第二介質部的寬度越來越小，而該第二介質部與第一介質部及相鄰兩個第二介質部之間的間隙也有越來越小。

6.如權利要求5所述的光波導透鏡，其特征在于，該介質光柵的寬度方向為???????????????????????????????????????????????軸，該第一介質部的寬度方向的中心點的連線作為對稱軸，該對稱軸與軸的相交點為原點，沿該對稱軸到遠離該對稱軸的方向為軸正向，以該激光束在處與原點處的相位差為軸，根據平板光波導波動理論可得：，其中，則該介質光柵的第個邊界滿足如下條件：，其中，為正整數，，及為常數與該衍射型光波導透鏡的焦距相關。

7.一種制造如權利要求1~6任一項所述的光波導透鏡的制造方法，其包括以下步驟：

提供基底；

在該基底上形成平板光波導；

在該平板光波導上鍍上一個遮擋層；

將設置有該遮擋層的基底浸入第一種蝕刻液中進行濕式蝕刻形成介質光柵；及

去掉該遮擋層形成光波導透鏡。

8.如權利要求7所述的光波導透鏡的制造方法，其特征在于，該基底為鈮酸鋰晶體，則該第一種蝕刻液為氫氟酸。

9.如權利要求7所述的光波導透鏡的制造方法，其特征在于，該遮擋層包括一個位于中間的第一遮擋部及多個對稱分布于該第一遮擋部兩側的第二遮擋部，該第一遮擋部與該第二遮擋部的數量之和為奇數，且該第一遮擋部與該多個第二遮擋部互相平行設置，該第一遮擋部的寬度大于每個第二遮擋部的寬度，且從該第一遮擋部到遠離該第一遮擋部的方向，該多個第二遮擋部的寬度越來越小，而該第二遮擋部與該第一遮擋部及相鄰兩個該第二遮擋部的間隙也越來越小。

10.如權利要求7所述的光波導透鏡的制造方法，其特征在于，該遮擋層采用鉻金屬，將該遮擋層均浸入第二種蝕刻液中去掉，該第二種蝕刻液為含有硝酸的鉻蝕刻液。