[發明專利]一種陣列基板檢測設備的探針框架及檢測設備有效

申請號：	201210546649.4	申請日：	2012-12-14
公開（公告）號：	CN103018936A	公開（公告）日：	2013-04-03
發明（設計）人：	葛興;魏振;朱承達;盛儉;蔡元一;張力行;李清生	申請（專利權）人：	京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
主分類號：	G02F1/13	分類號：	G02F1/13;G01R1/073
代理公司：	北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291	代理人：	黃志華
地址：	100015 ***	國省代碼：	北京;11
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種陣列檢測設備探針框架
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【說明書】：

技術領域

本發明涉及陣列基板電學性質測試技術領域，特別涉及一種陣列基板檢測設備的探針框架及檢測設備。

背景技術

TFT-LCD在制造過程大概可以分為三個階段:1Array工藝，在一張較大的玻璃基板上形成若干獨立的TFT像素陣列電路區，每個像素陣列電路區對應一個液晶顯示屏panel；2cell工藝，在TFT陣列基板上涂布液晶，并覆蓋彩色濾光片，拼合成LCD面板并切割成獨立的液晶顯示屏；3為液晶顯示屏安裝背光源，偏振片以及周邊電路等，形成完整的TFT-LCD顯示模塊。

如圖1所示，Array工藝中，在玻璃基板01上沉積形成多個TFT像素陣列電路區02，每一個TFT像素陣列電路區對應一塊陣列基板，為了實現對每一塊陣列基板的電學特性檢測，玻璃基板01上還設計有與每一個陣列基板對應的多個檢測引腳pad03，且這些檢測pad03通過導線與對應的顯示屏信號引線連接。陣列基板電學參數的測量通過陣列基板檢測設備進行。

如圖2所示，上述檢測設備包括探針框架，上述探針框架包括架體04，設置在架體04上的多個探針05，上述多個探針05與上述檢測pad03一一對應，，設置在架體04上的信號分配電路板06，以及與所述探針05一一對應、且將探針05連接至其對應的信號分配電路板06上的導線051。檢測設備產生的測試信號通過信號分配電路板06進行分配，并通過導線051傳輸至相應的探針05處，測試時通過架體04上的探針05與陣列基板上的檢測pad03接觸并加入測試信號，進行電學檢測。

其中，探針05在架體04上的安裝示意圖如圖3所示，探針05安裝在架體04上的通孔041中，探針05的頂部與導線051焊接在一起。

但是，由于玻璃基板上一次形成的獨立的TFT像素陣列電路區02較多，每一個TFT像素陣列電路區02對應一個陣列基板，每一個陣列基板均具有多個檢測pad03，所以，檢測設備的架體04上設置的探針05數量很多，導致導線051的數量很多，繞線復雜，由于受空間影響，導線051的數量較多會造成布線困難；在探針框架移動過程中，易碰觸到導線，從而造成導線051的磨損，導線051與探針05之間連接的穩定性較差，操作過程中易造成導線051由焊點脫落，造成導線051與探針05之間的斷路甚至導線051之間的短路，進而影響檢測。

發明內容

本發明提供了一種陣列基板檢測設備的探針框架及陣列基板檢測設備，探針框架上的布線簡單，且能夠提高探針與信號分配電路板之間信號連接的穩定性。

為達到上述目的，本發明提供以下技術方案：

一種陣列基板檢測設備的探針框架，包括架體和設置在架體上的信號分配電路板，還包括：

設置在架體上的電路板，所述電路板上設置有與陣列基板的檢測引腳pad一一對應的通孔，且所述電路板內設置有與所述通孔一一對應的多條信號傳輸線路，每一條信號傳輸線的一端伸入與其對應的通孔內，另一端與信號分配電路板的輸出端電性連接；

與所述通孔一一對應的多個探針，每一對所述探針與所述通孔，所述探針的一端插入所述通孔、且所述探針插入通孔的一端與該通孔內的信號傳輸線電性連接。

優選地，所述電路板的信號傳輸線與所述信號分配電路板的輸出端之間通過排線電性連接。

優選地，所述電路板與所述架體固定連接，所述架體上設置有與所述探針一一對應的圓孔。

優選地，所述電路板與所述架體滑動連接，所述架體上設置有與探針對應的通槽。

優選地，還包括：

固定于所述架體、驅動電路板沿長度方向位移的第一驅動裝置；

固定于所述架體、驅動電路板沿寬度方向位移的第二驅動裝置。