[發明專利]激光退火裝置

有效

• 申請號: 201210546553.8
• 申請日: 2012-12-14
• 公開（公告）號: CN103170736A
• 公開（公告）日: 2013-06-26
• 發明（設計）人: 梁相熙;李基雄;崔東奎;安珍榮
• 申請（專利權）人: AP系統股份有限公司
• 主分類號: B23K26/08
• 分類號: B23K26/08;B23K26/00
• 代理公司: 北京派特恩知識產權代理事務所(普通合伙) 11270
• 代理人: 武晨燕;徐川

技術領域

本發明涉及一種激光退火裝置(laser?annealing?apparatus)，且更具體地說，涉及一種能夠使用雙切割器提高激光束的加工精度的激光退火裝置。

背景技術

通常，具有長邊和短邊的矩形玻璃基板被用作平板顯示器件，例如有機發光二極管顯示器的基板。

這種玻璃基板承受包括清潔、激光退火、曝光以及蝕刻的各種制作工藝以制造成為用于平板顯示器件的基板。

通過退火裝置進行退火。退火裝置使激光束透過腔體的上表面發射至基板以使該基板結晶化。

本發明的相關技術在題目為“激光退火裝置”的韓國專利No.10-0780291(2007年11月22日登記)中公開。

常規退火裝置被配置為使用單個切割器阻擋激光束，引起激光束的嚴重衍射，且因此使得難以精確地執行激光束的掃描操作。

因此，需要一種克服了這種問題的激光退火裝置。

發明內容

本發明用于解決本領域中的這種問題且本發明的一個方面是提供一種激光退火裝置，該激光退火裝置利用雙切割器抑制激光束的衍射以精確地掃描基板。

根據本發明的一個方面，激光退火裝置包括：底板單元，所述底板單元具有激光束透過的入射口；頂板單元，所述頂板單元放置在所述底板單元上且具有用于覆蓋所述入射口的透明窗；第一切割器單元，所述第一切割器單元安裝在所述頂板單元上且部分阻擋所述激光束；以及第二切割器單元，所述第二切割器單元安裝在所述底板單元上且部分阻擋已經透過所述入射口的所述激光束。

所述底板單元可包括：底板，所述底板布置在腔體的上側處且具有所述入射口；以及安裝槽，所述安裝槽形成于所述底板上以與所述入射口連通，所述第二切割器單元安裝在所述安裝槽上。

所述第一切割器單元可包括：切割器軌道，所述切割器軌道安裝在所述底板上；移動板，所述移動板能沿所述切割器軌道移動；第一切割器，所述第一切割器聯接到所述移動板以朝向所述透明窗凸出，并且阻擋所述激光束的周界(periphery)；以及第一致動器，所述第一致動器聯接至所述底板且連接至所述移動板以具有可變的長度。

所述第二切割器單元可包括：第二致動器放置于所述安裝槽上以具有可變的長度；以及第二切割器，所述第二切割器聯接至所述第二致動器且阻擋所述激光束的周界。

所述第二切割器可具有形成于所述第二切割器的下表面的一個端部處的傾斜表面。

所述第二切割器可形成有標記孔。

在根據本發明的激光退火裝置中，所述第一切割器單元和所述第二切割器單元雙重切割(cut)激光束以抑制激光束的衍射，從而提高激光束在基板上的掃描操作的精度。

在根據本發明的激光退火裝置中，所述第一切割器單元和所述第二切割器單元通過所述致動器精確地控制，從而改進激光束掃描操作的精度。

在根據本發明的激光退火裝置中，形成于所述第二切割器的下表面上的所述傾斜表面可抑制激光束的衍射。

在根據本發明的激光退火裝置中，所述第二切割器被提供有標記孔，從而消除了額外的基板標記步驟。

附圖說明

從下面結合相應附圖給出的實施例的描述，本發明的上述和其他方面、特征以及優點將更加明顯，其中：

圖1為根據本發明的一個實施例的激光退火裝置的透視圖；

圖2為未運行的根據本發明的實施例的激光退火裝置的第二切割器單元的截面視圖；

圖3為根據本發明的實施例的激光退火裝置的部分阻擋激光束的第二切割器單元的截面視圖；以及

圖4為根據本發明的實施例的激光退火裝置的第二切割器的示意圖。

具體實施方式

以下，將參照附圖描述本發明的示例性實施例。需要注意的是：附圖不是精確的尺寸且僅僅為了描繪的方便和清晰，線條的厚度或組件的尺寸可能是夸大的。在本文中所使用的單數形式“一(a)”、“一(an)”、以及“所述(the)”也可包括復數形式，除非有其他清楚限定。

此外，本文中所使用的術語在考慮本發明的功能的基礎上來界定并可根據使用者或操作者的習慣或目的而改變。因此，應該根據本發明中所有詳述的內容來得到術語的界定。

圖1為根據本發明的一個實施例的激光退火裝置的透視圖；圖2為未運行的根據本發明的實施例的激光退火裝置的第二切割器單元的截面視圖；圖3為根據本發明的實施例的激光退火裝置的部分阻擋激光束的第二切割器單元的截面視圖；以及圖4為根據本發明的實施例的激光退火裝置的第二切割器的示意圖。