[發明專利]激光退火裝置有效
| 申請號： | 201210546553.8 | 申請日： | 2012-12-14 |
| 公開（公告）號： | CN103170736A | 公開（公告）日： | 2013-06-26 |
| 發明（設計）人： | 梁相熙;李基雄;崔東奎;安珍榮 | 申請（專利權）人： | AP系統股份有限公司 |
| 主分類號： | B23K26/08 | 分類號： | B23K26/08;B23K26/00 |
| 代理公司： | 北京派特恩知識產權代理事務所(普通合伙) 11270 | 代理人： | 武晨燕;徐川 |
| 地址： | 韓國*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 激光 退火 裝置 | ||
1.一種激光退火裝置，包括：
底板單元，所述底板單元具有激光束透過的入射口；
頂板單元，所述頂板單元放置在所述底板單元上且具有用于覆蓋所述入射口的透明窗；
第一切割器單元，所述第一切割器單元安裝在所述頂板單元上且部分阻擋所述激光束；以及
第二切割器單元，所述第二切割器單元安裝在所述底板單元上且部分阻擋已經透過所述入射口的所述激光束。
2.根據權利要求1所述的激光退火裝置，其中，所述底板單元包括：
底板，所述底板布置在腔體的上側處且具有所述入射口；以及安裝槽，所述安裝槽形成于所述底板上以與所述入射口連通，所述第二切割器單元安裝在所述安裝槽上。
3.根據權利要求2所述的激光退火裝置，其中，所述第一切割器單元包括：
切割器軌道，所述切割器軌道安裝在所述底板上；移動板，所述移動板能沿所述切割器軌道移動；第一切割器，所述第一切割器聯接至所述移動板以朝向所述透明窗凸出，并且阻擋所述激光束的周界；以及第一致動器，所述第一致動器聯接至所述底板且連接至所述移動板以具有可變的長度。
4.根據權利要求2所述的激光退火裝置，其中，所述第二切割器單元包括：
第二致動器，所述第二致動器放置于所述安裝槽上以具有可變的長度；以及第二切割器，所述第二切割器聯接至所述第二致動器并阻擋所述激光束的周界。
5.根據權利要求4所述的激光退火裝置，其中，第二切割器具有形成于所述第二切割器的下表面的一個端部處的傾斜表面。
6.根據權利要求4所述的激光退火裝置，其中，所述第二切割器形成有標記孔。
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