[發(fā)明專利]清洗機擺動噴淋裝置及方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210546229.6
• 申請日: 2012-12-14
• 公開（公告）號: CN103028566A
• 公開（公告）日: 2013-04-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 史彥慧;吳儀
• 申請（專利權(quán)）人: 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02
• 代理公司: 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 韓國勝

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體工業(yè)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于晶片清洗的清洗機擺動噴淋裝置及方法。

背景技術(shù)

目前，清洗機用化學(xué)藥液噴頭噴出的化學(xué)藥液都是垂直噴射到晶片表面。現(xiàn)在半導(dǎo)體用銅互連晶片直徑有300mm，晶片在清洗過程中持續(xù)旋轉(zhuǎn)，其中心位置與邊緣位置的線速度差距明顯。當(dāng)藥液以同樣的垂直方向沖擊到晶片表面時，晶片中心位置與邊緣位置由于角速度的差異巨大，接觸到垂直而下的化學(xué)藥液碰撞會產(chǎn)生不同的反濺反應(yīng)。晶片的邊緣位置角速度大，對垂直藥液流的反濺比較大，即便在較小的噴淋臂的運動速度下，外邊緣位置溝槽內(nèi)的溶解光刻膠和顆粒很難被帶走。現(xiàn)需要提供技術(shù)來解決藥液垂直噴射到晶片的邊緣位置發(fā)生猛烈反濺作用而影響清洗效果的問題。

發(fā)明內(nèi)容

（一）要解決的技術(shù)問題

本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種能對晶片中心位置與邊緣位置進行良好清洗的清洗機擺動噴淋裝置及方法。

（二）技術(shù)方案

為達上述目的，本發(fā)明的清洗機擺動噴淋裝置包括噴淋臂1、噴頭2和驅(qū)動裝置，所述噴頭2與所述噴淋臂1連接，所述噴頭2在驅(qū)動裝置控制下擺動。

優(yōu)選的，所述噴頭2與所述噴淋臂1鉸接形成第一鉸接處5。

優(yōu)選的，所述驅(qū)動裝置為氣缸3，所述氣缸3的活塞桿4與所述噴頭2連接。

優(yōu)選的，所述活塞桿4與所述噴頭2鉸接形成第二鉸接處6。

優(yōu)選的，所述清洗機擺動噴淋裝置還包括保護套7，所述第一鉸接處5、第二鉸接處6和活塞桿4置于保護套內(nèi)。

根據(jù)所述的清洗機擺動噴淋裝置進行擺動噴淋的方法，包括以下步驟：

S1.使待清洗的片狀物體自轉(zhuǎn)，將噴頭2在噴淋臂1作用下移入所述片狀物體中心位置后，噴頭2開始噴出流體對所述片狀物體進行清洗，此時噴頭2與所述片狀物體垂直；

S2.氣缸3的活塞桿4在壓縮空氣作用下伸出氣缸3帶動噴頭2擺動，使噴頭2傾斜至噴出流體到達所述片狀物體邊緣，從而完成對整個片狀物體的清洗。

優(yōu)選的，所述片狀物體為晶片8。

（三）有益效果

本發(fā)明采用上述技術(shù)方案提供的裝置及方法，噴頭在晶片中心位置垂直噴射到晶片表面，在晶片邊緣位置化學(xué)藥液傾斜射入晶片表面。較大的沖擊力可以補償晶片的中心位置線速度小顆粒不易從溝槽內(nèi)被藥液帶走的問題。晶片邊緣位置已經(jīng)有很大的線速度，液體傾斜噴射到晶片表面不會在表面發(fā)生大的沖擊，化學(xué)藥液可以進入到溝槽深處顆粒隨著液流被帶走。采用本發(fā)明的清洗機擺動噴淋裝置使晶片中心位置和邊緣位置都有很好的清洗效果。

附圖說明

圖1是本發(fā)明清洗機擺動噴淋裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是晶片中心位置液流反濺示意圖；

圖3是晶片邊緣位置液流反濺示意圖。

圖中，1：噴淋臂；2：噴頭；3：氣缸；4：活塞桿；5：第一鉸接處；6：第二鉸接處；7：保護套；8：晶片；9：垂直液流；10：傾斜液流。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明清洗機擺動噴淋裝置作進一步詳細說明。以下實施例用于說明本發(fā)明，但不用來限制本發(fā)明的范圍。

在本發(fā)明的描述中，需要說明的是，術(shù)語“中心”、“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本發(fā)明的限制。此外，術(shù)語“第一”、“第二”、“第三”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。

在本發(fā)明的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內(nèi)部的連通。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本發(fā)明中的具體含義。

此外，在本發(fā)明的描述中，除非另有說明，“多個”的含義是兩個或兩個以上。

如圖1所示，本發(fā)明的清洗機擺動噴淋裝置包括噴淋臂1、噴頭2和驅(qū)動裝置，所述噴頭2與所述噴淋臂1鉸接形成第一鉸接處5，所述噴頭2在驅(qū)動裝置控制下擺動。所述驅(qū)動裝置可為氣缸、液壓缸、絲桿和齒輪等可以實現(xiàn)擺動運動的裝置。