[發(fā)明專利]清洗機(jī)擺動(dòng)噴淋裝置及方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210546229.6
• 申請(qǐng)日: 2012-12-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103028566A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-04-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 史彥慧;吳儀
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
• 主分類號(hào): B08B3/02
• 分類號(hào): B08B3/02
• 代理公司: 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 韓國(guó)勝

1.一種清洗機(jī)擺動(dòng)噴淋裝置，其特征在于，所述清洗機(jī)擺動(dòng)噴淋裝置包括噴淋臂（1）、噴頭（2）和驅(qū)動(dòng)裝置，所述噴頭（2）與所述噴淋臂（1）連接，所述噴頭（2）在驅(qū)動(dòng)裝置控制下擺動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗機(jī)擺動(dòng)噴淋裝置，其特征在于，所述噴頭（2）與所述噴淋臂（1）鉸接形成第一鉸接處（5）。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的清洗機(jī)擺動(dòng)噴淋裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)裝置為氣缸（3），所述氣缸（3）的活塞桿（4）與所述噴頭（2）連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的清洗機(jī)擺動(dòng)噴淋裝置，其特征在于，所述活塞桿（4）與所述噴頭（2）鉸接形成第二鉸接處（6）。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的清洗機(jī)擺動(dòng)噴淋裝置，其特征在于，所述清洗機(jī)擺動(dòng)噴淋裝置還包括保護(hù)套（7），所述第一鉸接處（5）、第二鉸接處（6）和活塞桿（4）置于保護(hù)套內(nèi)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的清洗機(jī)擺動(dòng)噴淋裝置進(jìn)行擺動(dòng)噴淋的方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1.使待清洗的片狀物體自轉(zhuǎn)，將噴頭（2）在噴淋臂（1）作用下移入所述片狀物體中心位置后，噴頭（2）開(kāi)始噴出流體對(duì)所述片狀物體進(jìn)行清洗，此時(shí)噴頭（2）與所述片狀物體垂直；

S2.氣缸（3）的活塞桿（4）在壓縮空氣作用下伸出氣缸（3）帶動(dòng)噴頭（2）擺動(dòng)，使噴頭（2）傾斜至噴出流體到達(dá)所述片狀物體邊緣，從而完成對(duì)整個(gè)片狀物體的清洗。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的清洗機(jī)擺動(dòng)噴淋裝置進(jìn)行擺動(dòng)噴淋的方法，其特征在于，所述片狀物體為晶片（8）。