[發明專利]光刻膠噴嘴及利用該噴嘴確定光刻膠噴涂中心的方法在審
| 申請號： | 201210544221.6 | 申請日： | 2012-12-14 |
| 公開（公告）號： | CN103869624A | 公開（公告）日： | 2014-06-18 |
| 發明（設計）人： | 周敏祺;陳群琦 | 申請（專利權）人： | 上海華虹宏力半導體制造有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/16 | 分類號： | G03F7/16;B05B1/00 |
| 代理公司： | 上海浦一知識產權代理有限公司 31211 | 代理人： | 劉昌榮 |
| 地址： | 201203 上海市浦東*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光刻 噴嘴 利用 確定 噴涂 中心 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種光刻膠噴嘴，其特征在于，噴嘴的內部安裝有光纖，外部帶有鐳射光源，噴嘴的側面開槽，光纖經由槽引出，與鐳射光源連接。
2.利用權利要求1的光刻膠噴嘴確定光刻膠噴涂中心的方法，其特征在于，步驟包括：
1）通過曝光、刻蝕，在晶圓的中心位置制作出對準標記；
2）將晶圓傳送至涂布工藝單元；
3）將所述光刻膠噴嘴安裝到光刻膠噴涂裝置上，移動至晶圓上方；
4）打開鐳射光源，調整光刻膠噴嘴的位置，使投射到晶圓上的鐳射光斑位于晶圓對準標記的中心。
3.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，步驟3），所述光刻膠噴嘴距離晶圓表面的高度為4毫米。
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