[發明專利]一種基板的制作方法

有效

• 申請號: 201210540524.0
• 申請日: 2012-12-13
• 公開（公告）號: CN103034061A
• 公開（公告）日: 2013-04-10
• 發明（設計）人: 周子卿;李正勛;金基用;贠向南;許朝欽;孫亮
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16;H01L21/77
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，尤其涉及一種基板的制作方法。

背景技術

光刻膠涂布是光刻工藝的必須環節，為了提高涂布時光刻膠的利用率，目前，LCD行業在涂布工藝中以狹縫式涂覆為主流，在提高光刻膠利用率，和提高生產效率的同時，也存在較難解決的問題，即存在涂布不良(Uncoating)的問題。

目前，構成薄膜場效應晶體管液晶顯示器(Thin?Film?Transistor?Liquid?Crystal?Display，TFT-LCD)的陣列基板及彩膜基板的膜層一般由5層或更多層組成，其中通過構圖工藝形成圖案時，都必須經過光刻膠涂布這一步驟。然而，越在后面的薄膜層上形成圖案時，涂布光刻膠所需跨越的段差就越大，涂布過程中發生涂布不良的幾率就增大，此外，玻璃基板邊緣表面狀態差等都使得在涂布過程中發生涂布不良的可能性增大。

例如，如圖1所示，當涂布光刻膠30的涂布裝置的噴嘴60從透明基板10邊緣開始涂布時，在經過段差區域時，會導致光刻膠30涂布不良的發生。

發明內容

本發明的實施例提供一種基板的制作方法，可避免或減少光刻膠涂布時涂布不良的發生率，進而提高量產產品良率。

為達到上述目的，本發明的實施例采用如下技術方案：

一方面，提供了一種基板的制作方法，包括：在透明基板上制作至少兩層薄膜，并分別通過構圖工藝在顯示區域形成顯示用圖案；其中，在透明基板上制作至少兩層薄膜，并分別通過構圖工藝在顯示區域形成顯示用圖案包括：在透明基板上制作第一薄膜，并通過構圖工藝在所述透明基板的至少一個第一邊緣處，形成與所述第一邊緣平行的第一輔助圖案，同時在顯示區域形成顯示用圖案；其中，所述第一薄膜為所述至少兩層薄膜中除最后一層薄膜外的任一層；所述第一邊緣與光刻膠涂布方向垂直，所述第一輔助圖案沿所述光刻膠涂布方向的橫截面的至少一側邊為階梯狀。

可選的，所述在透明基板上制作至少兩層薄膜，并分別通過構圖工藝在顯示區域形成顯示用圖案包括：在透明基板上制作至少三層導電薄膜，并分別通過構圖工藝在顯示區域形成顯示用圖案；所述第一薄膜為所述至少三層導電薄膜中除最后一層導電薄膜外的任一層。

進一步地，所述在透明基板上制作至少兩層薄膜，并分別通過構圖工藝在顯示區域形成顯示用圖案還包括：在透明基板上制作第二薄膜，并通過構圖工藝在所述至少一個第一邊緣處，形成與所述第一邊緣平行的第二輔助圖案，同時在顯示區域形成顯示用圖案；其中，所述第二導電薄膜為所述至少兩層薄膜中除最后一層薄膜和所述第一薄膜外的任一層薄膜；所述第二輔助圖案橫截面呈矩形狀。

進一步地，所述第一輔助圖案位于所述第二輔助圖案之上。

可選的，所述在透明基板上制作至少兩層薄膜，并分別通過構圖工藝在顯示區域形成顯示用圖案還包括：在透明基板上制作半導體薄膜，并通過構圖工藝在所述至少一個第一邊緣處，形成與所述第一邊緣平行的第三輔助圖案，同時在顯示區域形成顯示用圖案；其中，所述第三輔助圖案橫截面呈矩形狀，且所述第三輔助圖案位于所述第一輔助圖案之下。

基于上述各種可能的陣列基板的制作方法，進一步可選的，所述至少三層導電薄膜包括：源漏金屬薄膜、柵金屬薄膜、像素電極薄膜。

進一步地，所述在透明基板上制作第一薄膜，并通過構圖工藝在所述透明基板的至少一個第一邊緣處，形成與所述第一邊緣平行的第一輔助圖案，同時在顯示區域形成顯示用圖案包括：所述在透明基板上制作源漏金屬薄膜，并通過構圖工藝在所述透明基板的至少一個第一邊緣處，形成與所述第一邊緣平行的第一輔助圖案，同時在顯示區域形成源漏極圖案。

可選的，所述在透明基板上制作至少兩層薄膜，并分別通過構圖工藝在顯示區域形成顯示用圖案包括：在透明基板上制作至少四層樹脂薄膜，并分別通過構圖工藝在顯示區域形成顯示用圖案；所述第一薄膜為所述至少四層樹脂薄膜中除最后一層樹脂薄膜外的任一層。

進一步地，所述第一樹脂薄膜為最先制作形成的樹脂薄膜。

基于上述各種可能的基板，進一步地，所述至少一個第一邊緣為兩個第一邊緣。

進一步地，所述第一輔助圖案的橫截面為對稱形狀。

進一步地，所述第一輔助圖案包括第一部分、第二部分和第三部分，所述第一部分的厚度高于所述第二部分或第三部分的厚度，且所述第二部分和第三部分分別位于所述第一部分的左右兩側，在光刻膠涂布方向上，第一部分的長度為0.2mm-0.5mm，第二部分的長度為0.2mm-0.5mm，第三部分的長度為0.2mm-0.5mm。