[發(fā)明專利]一種基板的制作方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210540524.0
• 申請(qǐng)日: 2012-12-13
• 公開（公告）號(hào): CN103034061A
• 公開（公告）日: 2013-04-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周子卿;李正勛;金基用;贠向南;許朝欽;孫亮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;北京京東方顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/16
• 分類號(hào): G03F7/16;H01L21/77
• 代理公司: 北京中博世達(dá)專利商標(biāo)代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

1.一種基板的制作方法，包括：在透明基板上制作至少兩層薄膜，并分別通過構(gòu)圖工藝在顯示區(qū)域形成顯示用圖案；其特征在于，在透明基板上制作至少兩層薄膜，并分別通過構(gòu)圖工藝在顯示區(qū)域形成顯示用圖案包括：

在透明基板上制作第一薄膜，并通過構(gòu)圖工藝在所述透明基板的至少一個(gè)第一邊緣處，形成與所述第一邊緣平行的第一輔助圖案，同時(shí)在顯示區(qū)域形成顯示用圖案；其中，

所述第一薄膜為所述至少兩層薄膜中除最后一層薄膜外的任一層；所述第一邊緣與光刻膠涂布方向垂直，所述第一輔助圖案沿所述光刻膠涂布方向的橫截面的至少一側(cè)邊為階梯狀。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述在透明基板上制作至少兩層薄膜，并分別通過構(gòu)圖工藝在顯示區(qū)域形成顯示用圖案包括：在透明基板上制作至少三層導(dǎo)電薄膜，并分別通過構(gòu)圖工藝在顯示區(qū)域形成顯示用圖案；

所述第一薄膜為所述至少三層導(dǎo)電薄膜中除最后一層導(dǎo)電薄膜外的任一層。

3.根據(jù)要求2所述的方法，其特征在于，所述在透明基板上制作至少兩層薄膜，并分別通過構(gòu)圖工藝在顯示區(qū)域形成顯示用圖案還包括：

在透明基板上制作第二薄膜，并通過構(gòu)圖工藝在所述至少一個(gè)第一邊緣處，形成與所述第一邊緣平行的第二輔助圖案，同時(shí)在顯示區(qū)域形成顯示用圖案；其中，

所述第二薄膜為所述至少兩層薄膜中除最后一層導(dǎo)電薄膜和所述第一薄膜外的任一層導(dǎo)電薄膜；所述第二輔助圖案橫截面呈矩形狀。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述第一輔助圖案位于所述第二輔助圖案之上。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所述在透明基板上制作至少兩層薄膜，并分別通過構(gòu)圖工藝在顯示區(qū)域形成顯示用圖案還包括：

在透明基板上制作半導(dǎo)體薄膜，并通過構(gòu)圖工藝在所述至少一個(gè)第一邊緣處，形成與所述第一邊緣平行的第三輔助圖案，同時(shí)在顯示區(qū)域形成顯示用圖案；其中，所述第三輔助圖案橫截面呈矩形狀，且所述第三輔助圖案位于所述第一輔助圖案之下。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所述至少三層導(dǎo)電薄膜包括：源漏金屬薄膜、柵金屬薄膜、像素電極薄膜。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述在透明基板上制作第一薄膜，并通過構(gòu)圖工藝在所述透明基板的至少一個(gè)第一邊緣處，形成與所述第一邊緣平行的第一輔助圖案，同時(shí)在顯示區(qū)域形成顯示用圖案包括：

所述在透明基板上制作源漏金屬薄膜，并通過構(gòu)圖工藝在所述透明基板的至少一個(gè)第一邊緣處，形成與所述第一邊緣平行的第一輔助圖案，同時(shí)在顯示區(qū)域形成源漏極圖案。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述在透明基板上制作至少兩層薄膜，并分別通過構(gòu)圖工藝在顯示區(qū)域形成顯示用圖案包括：在透明基板上制作至少四層樹脂薄膜，并分別通過構(gòu)圖工藝在顯示區(qū)域形成顯示用圖案；

所述第一薄膜為所述至少四層樹脂薄膜中除最后一層樹脂薄膜外的任一層。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，所述第一薄膜為最先制作形成的樹脂薄膜。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至9任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述至少一個(gè)第一邊緣為兩個(gè)第一邊緣。

11.根據(jù)權(quán)利要求1至9任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述第一輔助圖案的橫截面為對(duì)稱形狀。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其特征在于，所述第一輔助圖案包括第一部分、第二部分和第三部分，所述第一部分的厚度高于所述第二部分或第三部分的厚度，且所述第二部分和第三部分分別位于所述第一部分的左右兩側(cè)，在光刻膠涂布方向上，第一部分的長(zhǎng)度為0.2mm-0.5mm，第二部分的長(zhǎng)度為0.2mm-0.5mm，第三部分的長(zhǎng)度為0.2mm-0.5mm。

13.根據(jù)權(quán)利要求1至9任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述第一輔助圖案距離所述第一邊緣20cm～30cm。