[發明專利]槽體排泡裝置與方法

有效

• 申請號: 201210537689.2
• 申請日: 2012-12-13
• 公開（公告）號: CN103157583A
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發明（設計）人: 劉宗珀;陳敬業
• 申請（專利權）人: 亞智科技股份有限公司
• 主分類號: B05C11/10
• 分類號: B05C11/10;B05C11/11
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司 11228
• 代理人: 朱振德

技術領域

本發明系有關槽體排泡裝置與方法，尤指一種于涂布制程中，其涂布裝置中設置一藥液儲存之槽體，該槽體可藉由復數隔板上至少設置有一網狀濾泡裝置，且該網狀濾泡裝置可有效阻隔攔截藥液中的氣泡，使流出槽體之藥液具有最佳無泡穩定之特性。

背景技術

習知半導體藥液之濾泡裝置多設于生產機臺內部，例如：光阻涂布機、顯影機及濕式蝕刻機之裝置，若需更換藥液時，必先停機更換后，再經過一定程序將藥液內的氣泡完全排除，該排泡過程必須花費數個小時之時間，方能將藥液內的氣泡完全排出。若藥液之氣泡未完全排出時，氣泡將直接附著于產品上,將對制程造成負面影響降低產品良率，而造成的影響包括有：殘影（Mura）、水印（Water?Mark）、針孔（Pin?Hole）及種種相關受氣泡影響而造成反應不全（例如：顯影不全、蝕刻不全）之缺陷，造成產品良率大幅降低，而有待從事此行業者加以解決。

發明內容

基于解決以上所述習知技藝的缺失，本發明為一種槽體排泡裝置與方法，本發明之主要目的于涂布制程中，其涂布裝置中設置一藥液儲存之槽體，該槽體可藉由復數隔板上至少設置有一網狀濾泡裝置，且該網狀濾泡裝置可有效阻隔攔截藥液中的氣泡，使流出槽體之藥液具有最佳無泡穩定特性的功能。

本發明之另一目的在于藉由隔板個數增加設置，而使藥液的流動路徑增加，來增加藥液之排泡機會，達成排泡效果。

本發明之再一目的在于藉由該藥液入口及該藥液出口皆設置于該槽體之底部，以減少藥液流動時之擾動，以降低氣體混入形成氣泡之機會。

為達上述目的，本發明為一種槽體排泡裝置，用以濾泡含有氣泡之藥液，其系包括有：

一槽體，系為一具有腔室之箱體，而其腔室用以承裝藥液，具有一藥液入口及一藥液出口，且于藥液上表面具有一空間；以及

復數個隔板，設置于該槽體中，使槽體內成一規則流道，該些復數隔板上至少設置有一網狀濾泡裝置。

較佳者，該槽體更系設置有一排氣裝置，且該排氣裝?????置設置于槽體空間之位置。

較佳者，該排氣裝置可為自然排氣裝置或強制排氣裝???置。

較佳者，該自然排氣裝置系為一孔洞。

較佳者，該強制排氣裝置系為一風扇馬達。

較佳者，該網狀濾泡裝置系為復數個六角形蜂槽狀孔洞所構成。

較佳者，該網狀濾泡裝置系為任意多邊形、多角形或圓形孔洞所構成。

較佳者，該網狀濾泡裝置系為一海綿體所構成。

較佳者，該網狀濾泡裝置的孔洞之孔徑，可設計不同大小，或多重設置，以配合相關藥液特性。為靠近該藥液入口較大，且靠近該藥液出口較小。

較佳者，該網狀濾泡裝置系具有一厚度。

較佳者，該藥液入口及該藥液出口皆設置于該槽體之底部。

較佳者，該藥液系指一光阻藥液或為其他工業用藥液。

較佳者，該藥液出口流出藥液系可藉由一循環回收裝置加以回收。

為達上述目的，本發明為一種槽體排泡方法，其系包括有：

提供一槽體，該槽體內設置有具有復數個孔洞之復數個隔板以形成一預設流道；

將藥液由該槽體之一藥液入口注入形成一槽體液體平面，該槽體液體平面系高于該藥液入口且低于槽體高度，使藥液在槽體內依循該預設流道流動；

利用該復數個孔洞來吸附在該預設流道流動的藥液中的氣泡，以使復數個氣泡聚集于該復數個孔洞達一定程度后向上移動到該槽體之液面高度以排出氣泡完成排泡處理；以及

將已經由排泡處理的藥液由一藥液出口排出。

為進一步對本發明有更深入的說明，乃藉由以下圖示、圖號說明及發明詳細說明，冀能對??貴審查委員于審查工作有所助益。

附圖說明

圖1為本發明槽體排泡裝置之俯視剖面結構示意圖；

圖2A為本發明槽體排泡裝置之正視剖面結構示意圖；

圖2B為本發明槽體排泡裝置之俯視流道示意圖；

圖3為本發明單一隔板之結構示意圖；

圖4為本發明隔板之網狀濾泡裝置的放大結構示意圖；

圖5為本發明隔板之網狀濾泡裝置采用不規則孔洞結構之第一實施例圖；

圖6為本發明隔板之網狀濾泡裝置采用不規則孔洞結構之第二實施例圖；

圖7為本發明隔板之網狀濾泡裝置采用不規則孔洞結構之第三實施例圖；

圖8為本發明槽體的底部可為一不平坦的斜面之實施結構示意圖；

圖9為本發明之槽體排泡方法的流程圖。

附圖標記說明：

L1～流道長度