[發(fā)明專利]槽體排泡裝置與方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210537689.2
• 申請(qǐng)日: 2012-12-13
• 公開（公告）號(hào): CN103157583A
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉宗珀;陳敬業(yè)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 亞智科技股份有限公司
• 主分類號(hào): B05C11/10
• 分類號(hào): B05C11/10;B05C11/11
• 代理公司: 北京匯澤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11228
• 代理人: 朱振德

1.一種槽體排泡裝置，用以去除含有氣泡之藥液，其特征在于，其系包括有：

一槽體，具有一中空腔室用以承裝藥液以形成一液體平面；

一藥液入口及一藥液出口；以及

復(fù)數(shù)個(gè)隔板，間隔排列設(shè)置于該槽體中，其中，每一該復(fù)數(shù)個(gè)隔板之兩端皆與該槽體相接觸，且具有復(fù)數(shù)個(gè)孔洞。

2.如權(quán)利要求書1所述的槽體排泡裝置，其特征在于，其中該槽體更系設(shè)置有一排氣裝置，該排氣裝置之位置至少高于該槽體高度的二分之一。

3.如權(quán)利要求書2所述的槽體排泡裝置，其特征在于，其中該排氣裝置可為自然排氣裝置或強(qiáng)制排氣裝置。

4.如權(quán)利要求書1所述的槽體排泡裝置，其特征在于，其中該復(fù)數(shù)個(gè)孔洞系由一海綿體所構(gòu)成。

5.如權(quán)利要求書1所述的槽體排泡裝置，其特征在于，其中每一個(gè)隔板系為一多層式隔版所構(gòu)成。

6.如權(quán)利要求書1所述的槽體排泡裝置，其特征在于，其中，越接近該藥液入口之該隔板之該復(fù)數(shù)個(gè)孔洞之孔徑系大于遠(yuǎn)離該藥液入口之該隔板之該復(fù)數(shù)個(gè)孔洞之孔徑。

7.如權(quán)利要求書6所述的槽體排泡裝置，其特征在于，其中該復(fù)數(shù)個(gè)孔洞系為復(fù)數(shù)個(gè)六角形蜂槽狀孔洞所構(gòu)成。

8.如權(quán)利要求書6所述的槽體排泡裝置，其特征在于，其中該復(fù)數(shù)個(gè)孔洞系為任意多邊形、多角形或圓形孔洞所構(gòu)成。

9.如權(quán)利要求書7所述的槽體排泡裝置，其特征在于，其中該復(fù)數(shù)個(gè)孔洞之孔徑系為單一孔徑或大小不一排列。

10.如權(quán)利要求書1所述的槽體排泡裝置，其特征在于，其中該槽體的底部系為一非水平的斜面。

11.如權(quán)利要求書1所述的槽體排泡裝置，其特征在于，其中該藥液之液面高于該藥液入口且低于該槽體之高度。

12.如權(quán)利要求書1所述的槽體排泡裝置，其特征在于，其中該藥液系指一光阻藥液或?yàn)槠渌I(yè)用藥液。

13.如權(quán)利要求書1所述的槽體排泡裝置，其中更包括一循環(huán)回收裝置連接該藥液出口，用以將從該藥液出口排出一藥液導(dǎo)入至該藥液入口。

14.如權(quán)利要求書1所述的槽體排泡裝置，其特征在于，其中該復(fù)數(shù)個(gè)隔板以形成藥液流道，且該流道長度至少大于槽體長度之1.5倍。

15.一種槽體排泡方法，其特征在于，其系包括有：

提供一槽體，該槽體內(nèi)設(shè)置有具有復(fù)數(shù)個(gè)孔洞之復(fù)數(shù)個(gè)隔板以形成一預(yù)設(shè)流道；

將藥液由該槽體之一藥液入口注入形成一槽體液體平面，該槽體液體平面系高于該藥液入口且低于槽體高度，使藥液在槽體內(nèi)依循該預(yù)設(shè)流道流動(dòng)；

利用該復(fù)數(shù)個(gè)孔洞來吸附在該預(yù)設(shè)流道流動(dòng)的藥液中的氣泡，以使復(fù)數(shù)個(gè)氣泡聚集于該復(fù)數(shù)個(gè)孔洞達(dá)一定程度后向上移動(dòng)到該槽體之液面高度以排出氣泡完成排泡處理；以及

將已經(jīng)由排泡處理的藥液由一藥液出口排出。

16.如權(quán)利要求書15所述的槽體排泡方法，其特征在于，其中該些孔洞之孔徑可為單一孔徑，亦可為交錯(cuò)排列大小不一的孔徑。

17.如權(quán)利要求書15所述的槽體排泡方法，其特征在于，其中該槽體的底部系為一非水平的斜面。

18.如權(quán)利要求書15所述的槽體排泡方法，其特征在于，其中該復(fù)數(shù)個(gè)孔洞系為復(fù)數(shù)個(gè)六角形蜂槽狀孔洞所構(gòu)成。

19.如權(quán)利要求書15所述的槽體排泡方法，其特征在于，其中該復(fù)數(shù)個(gè)孔洞系為任意多邊形、多角形或圓形孔洞所構(gòu)成。

20.如權(quán)利要求書15所述的槽體排泡方法，其特征在于，其中該藥液之液面高于該藥液入口且低于該槽體之高度。

21.如權(quán)利要求書15所述的槽體排泡方法，其特征在于，其中該預(yù)設(shè)流道長度至少大于槽體長度之1.5倍。