[發(fā)明專利]基板與掩模貼合夾持裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210537468.5
• 申請日: 2012-12-13
• 公開（公告）號: CN103849833A
• 公開（公告）日: 2014-06-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 杜陳忠;梁沐旺;江源遠(yuǎn)
• 申請（專利權(quán)）人: 財(cái)團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C16/04
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 宋焰琴

1.一種基板與掩模貼合夾持裝置，包括：

一推動組件；

一上部夾爪機(jī)構(gòu)，包括：

一第一往復(fù)運(yùn)動組件，包括一第一斜面及一擺動件；

一第二往復(fù)運(yùn)動組件，包括一第二斜面及一滑動面；以及

一下部夾爪機(jī)構(gòu)，包括：

一下部夾爪固定座；及

一夾爪，可動地設(shè)于該下部夾爪固定座；

其中，在該推動組件沿一第一方向運(yùn)動的過程中，該推動組件與該第一斜面進(jìn)行相對運(yùn)動而帶動該第一往復(fù)運(yùn)動組件沿一第二方向運(yùn)動，且該推動組件帶動該第二斜面與該擺動件進(jìn)行相對運(yùn)動，進(jìn)而帶動該夾爪沿與該第一方向反向的一第三方向運(yùn)動，且該推動組件帶動該滑動面與該下部夾爪機(jī)構(gòu)產(chǎn)生相對運(yùn)動，進(jìn)而帶動該夾爪沿一第四方向運(yùn)動，其中該第一方向、該第二方向及該第四方向?qū)嵸|(zhì)上互相垂直。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板與掩模貼合夾持裝置，其中該夾爪抵壓于一基板的非鍍膜面。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板與掩模貼合夾持裝置，其中該第一往復(fù)運(yùn)動組件還包括：

一水平滑動件，具有該第一斜面，且與該擺動件樞接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板與掩模貼合夾持裝置，其中該擺動件包括：

一第一突起結(jié)構(gòu)；以及

一第二突起結(jié)構(gòu)；

其中，在該推動組件沿該第一方向運(yùn)動的過程中，該推動組件帶動該第二斜面與該擺動件的該第一突起結(jié)構(gòu)產(chǎn)生斜面運(yùn)動，而使該擺動件擺動，進(jìn)而使該第二突起結(jié)構(gòu)帶動該夾爪沿該第三方向運(yùn)動。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板與掩模貼合夾持裝置，其中該下部夾爪機(jī)構(gòu)包括一突出結(jié)構(gòu)，該突出結(jié)構(gòu)連接于該夾爪，該第二突起結(jié)構(gòu)從該突出結(jié)構(gòu)下方帶動該夾爪沿該第三方向運(yùn)動。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板與掩模貼合夾持裝置，其中該上部夾爪機(jī)構(gòu)還包括：

一上部本體；以及

一第一彈性件，連接該上部本體與該第一往復(fù)運(yùn)動組件；當(dāng)該第一往復(fù)運(yùn)動組件運(yùn)動時，該第一彈性件形變而儲存彈性勢能。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板與掩模貼合夾持裝置，其中該上部夾爪機(jī)構(gòu)還包括：

一上部本體；以及

一第二彈性件，連接該上部本體與該第二往復(fù)運(yùn)動組件；當(dāng)該第二往復(fù)運(yùn)動組件運(yùn)動時，該第二彈性件形變而儲存彈性勢能。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板與掩模貼合夾持裝置，其中該下部夾爪機(jī)構(gòu)還包括：

一可動件；以及

一第三彈性件，沿該第一方向連接該下部夾爪固定座與該可動件；當(dāng)該夾爪運(yùn)動時，該第三彈性件形變而儲存彈性勢能。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板與掩模貼合夾持裝置，其中該下部夾爪機(jī)構(gòu)還包括：

一第四彈性件，沿該第四方向連接該下部夾爪固定座與該夾爪；當(dāng)該夾爪運(yùn)動時，該第四彈性件形變而儲存彈性勢能。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板與掩模貼合夾持裝置，其中該下部夾爪機(jī)構(gòu)包括一圓柱結(jié)構(gòu)，該滑動面與該圓柱結(jié)構(gòu)產(chǎn)生相對運(yùn)動，而帶動該夾爪沿該第四方向運(yùn)動。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板與掩模貼合夾持裝置，其中該滑動面是斜面或凸輪輪廓面。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板與掩模貼合夾持裝置，還包括：

一掩模組件，包括該下部夾爪機(jī)構(gòu)、一框架及一掩模，該框架具有一非鍍膜面，該掩模及該下部夾爪機(jī)構(gòu)設(shè)于該框架的該非鍍膜面上。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的基板與掩模貼合夾持裝置，包括：多個該下部夾爪機(jī)構(gòu)，設(shè)于該框架的邊緣。

14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的基板與掩模貼合夾持裝置，還包括：一傳輸機(jī)構(gòu)，用于傳輸該掩模組件至該上部夾爪機(jī)構(gòu)的位置。