[發明專利]液體噴出頭的制造方法

無效

• 申請號: 201210532378.7
• 申請日: 2012-12-11
• 公開（公告）號: CN103158359A
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發明（設計）人: 岡野明彥;鈴木工;沖仲元毅
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: B41J2/16
• 分類號: B41J2/16
• 代理公司: 北京魏啟學律師事務所 11398
• 代理人: 魏啟學

1.一種液體噴出頭的制造方法，所述液體噴出頭包括具有能量產生元件的基板以及壁構件，所述壁構件與所述基板接合以形成噴出液體的噴出口和與所述噴出口相連通的流路，所述方法以如下順序包括以下步驟：

步驟(B)在所述基板上形成用于形成所述流路的流路圖案形成體；

步驟(C)在所述流路圖案形成體的周圍形成用于形成所述壁構件的覆蓋樹脂層；和

步驟(D)以與所述基板的表面形狀的圖案對應的方式將所述基板的表面形狀轉印至所述覆蓋樹脂層的表面。

2.根據權利要求1所述的液體噴出頭的制造方法，其在所述步驟(B)之前進一步包括步驟(A)：通過將復制模具壓在所述基板表面上來制造已轉印了所述基板的表面形狀的復制模具，

其中，所述步驟(D)包括以使轉印至所述復制模具的圖案與所述基板的表面形狀的圖案彼此對應的方式將所述復制模具壓在所述覆蓋樹脂層的表面上的步驟。

3.根據權利要求2所述的液體噴出頭的制造方法，其中所述步驟(B)以如下順序包括以下步驟：在所述基板上形成流路圖案層、以使轉印至所述復制模具的圖案與所述基板的表面形狀的圖案彼此對應的方式將所述復制模具壓在所述流路圖案層的表面上從而轉印所述基板的表面形狀、和通過在所述流路圖案層上形成所述流路的圖案來形成所述流路圖案形成體。

4.根據權利要求3所述的液體噴出頭的制造方法，其中在所述步驟(B)和所述步驟(D)至少之一中的壓制所述復制模具的步驟包括以使轉印至所述復制模具的圖案與所述基板的表面形狀的圖案彼此對應的方式將所述基板的位置和所述復制模具的位置彼此對齊，從而將所述復制模具壓在所述流路圖案層的表面和所述覆蓋樹脂層的表面之一的步驟。

5.根據權利要求2所述的液體噴出頭的制造方法，其中在所述步驟(D)中將所述復制模具壓在所述覆蓋樹脂層的表面上所施加的壓力等于在所述步驟(A)中將所述復制模具壓在所述基板的表面上所施加的壓力。

6.根據權利要求2所述的液體噴出頭的制造方法，其中所述復制模具的材料的玻璃化轉變點高于所述覆蓋樹脂層的材料的玻璃化轉變點。

7.根據權利要求2所述的液體噴出頭的制造方法，其中所述復制模具的材料為光固化性樹脂和熱固性樹脂之一。

8.根據權利要求2所述的液體噴出頭的制造方法，其中所述復制模具的材料為氟樹脂。

9.根據權利要求1所述的液體噴出頭的制造方法，其在步驟(D)之后進一步包括在所述覆蓋樹脂層中形成所述噴出口的步驟(E)。

10.根據權利要求1所述的液體噴出頭的制造方法，其在步驟(C)和步驟(D)之間進一步包括在所述覆蓋樹脂層的表面上形成脫模層的步驟。

11.一種結構體的制造方法，所述結構體包括在基板上的樹脂成型物，所述方法以如下順序包括以下步驟：

在所述基板上形成用于形成所述樹脂成型物的樹脂層；和

以與所述基板的表面形狀的圖案對應的方式將所述基板的表面形狀轉印至所述樹脂層的表面。

12.根據權利要求11所述的結構體的制造方法，其在形成所述樹脂層的步驟之前進一步包括通過將所述復制模具壓在所述基板的表面上來制造已轉印了所述基板表面形狀的復制模具的步驟，

其中將所述基板的表面形狀轉印至所述樹脂層的表面的步驟包括以使轉印至所述復制模具的圖案與所述基板的表面形狀的圖案彼此對應的方式將所述復制模具壓在所述樹脂層的表面上的步驟。