[發(fā)明專利]激光加工裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210532177.7 | 申請日： | 2012-12-11 |
| 公開（公告）號： | CN103170728A | 公開（公告）日： | 2013-06-26 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 森數(shù)洋司 | 申請（專利權(quán)）人： | 株式會社迪思科 |
| 主分類號： | B23K26/00 | 分類號： | B23K26/00;B23K26/04 |
| 代理公司： | 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127 | 代理人： | 黨曉林;王小東 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 激光 加工 裝置 | ||
1.一種激光加工裝置，所述激光加工裝置具有：卡盤工作臺，所述卡盤工作臺用于保持被加工物；激光光線照射構(gòu)件，所述激光光線照射構(gòu)件用于對被保持在所述卡盤工作臺的被加工物照射激光光線；和加工進給構(gòu)件，所述加工進給構(gòu)件用于使所述卡盤工作臺和所述激光光線照射構(gòu)件沿加工進給方向相對移動，所述激光加工裝置的特征在于，
所述激光光線照射構(gòu)件具有：激光光線振蕩器，所述激光光線振蕩器用于振蕩發(fā)出激光光線；聚光器，所述聚光器具有聚光透鏡，所述聚光透鏡用于將由所述激光光線振蕩器振蕩發(fā)出的激光光線聚光并照射到被保持在所述卡盤工作臺的被加工物；光路調(diào)整構(gòu)件，所述光路調(diào)整構(gòu)件配設(shè)在所述激光光線振蕩器與所述聚光器之間，用于調(diào)整由所述激光光線振蕩器振蕩發(fā)出的激光光線的光路；反射鏡，所述反射鏡用于將由所述光路調(diào)整構(gòu)件調(diào)整光路后的激光光線朝向所述聚光器反射；檢測光聚光透鏡，所述檢測光聚光透鏡用于將少量透過所述反射鏡的檢測光線聚光；攝像構(gòu)件，所述攝像構(gòu)件用于對由所述檢測光聚光透鏡聚光后的檢測光線的聚光光斑進行攝像；和控制構(gòu)件，所述控制構(gòu)件用于求出由所述攝像構(gòu)件攝像得到的檢測光線的聚光光斑相對于適當位置的偏移量和方向，并根據(jù)所述偏移量和方向控制所述光路調(diào)整構(gòu)件以將由所述檢測光聚光透鏡聚光后的檢測光線的聚光光斑定位在適當位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光加工裝置，其中，
在所述檢測光聚光透鏡與所述攝像構(gòu)件之間配設(shè)有減光構(gòu)件。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的激光加工裝置，其中，
所述聚光器的聚光透鏡的焦距與所述檢測光聚光透鏡的焦距被設(shè)定為相同距離。
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