[發明專利]轉印裝置及轉印方法

有效

• 申請號: 201210528499.4
• 申請日: 2012-12-10
• 公開（公告）號: CN103358674A
• 公開（公告）日: 2013-10-23
• 發明（設計）人: 谷口和隆;川越理史
• 申請（專利權）人: 大日本網屏制造株式會社
• 主分類號: B41F16/00
• 分類號: B41F16/00;B41F33/00;B41M5/382
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 宋曉寶;郭曉東

技術領域

本發明涉及用于將擔載于擔載體表面上的圖案或薄膜轉印到基板上的轉印裝置及轉印方法。特別地涉及基于擔載于擔載體上的定位標記的拍攝結果來對基板和擔載體進行對位的技術。

背景技術

作為在基板表面上形成圖案或薄膜的技術，例如有如下技術，即，在平板狀擔載體（例如玻璃板）的表面上暫時擔載作為被轉印物的圖案或薄膜，并通過使該擔載體緊貼到基板表面上來將被轉印物轉印到基板表面上的技術。在這樣的轉印技術中，為了將被轉印物恰當地轉印到基板表面的規定位置，而需要進行對準擔載體和基板之間的相對位置的定位處理。

作為能夠利用于這樣的用途的定位技術，例如有日本特開2004-151653號公報所述的技術。在該技術中，在應貼合的兩個基板中的每個基板的表面形成定位標記，并基于利用拍攝單元（例如CCD照相機）拍攝它們而得到的圖像來進行定位處理。具體而言，在將兩基板配置成定位標記形成面彼此相向的狀態下，經由透明的一個基板拍攝定位標記。而且，基于從拍攝而得到的圖像檢測出的兩定位標記的位置關系，調整基板之間的相對位置。該技術涉及貼合兩個基板時的定位處理，但通過將一個基板置換為擔載體，該技術也是能夠適用于通過將擔載被轉印物的擔載體重疊到基板的規定位置上來轉印被轉印物時的對位的技術。

在這樣的轉印技術中，為了從拍攝結果高精度地檢測出定位標記的位置，而需要將拍攝單元的焦點對焦到定位標記上。然而，由于基板、擔載體及被轉印物的光學的特性以及它們的位置關系，存在難以確保良好的拍攝環境的情況。例如來自在定位標記的背后配置的基板的反射光量因基板的材質及表面狀態、擔載體和基板之間的距離等而發生變化，因此從定位標記入射至拍攝單元的光量大幅變動。另外，例如特別是在使用與被轉印物相同的材料形成定位標記時，存在作為該材料使用光學特性與擔載體接近的材料的情況。

在這些情況下，難以以足夠的光量及對比度來拍攝定位標記。特別地，在對焦未結束的狀態下，從拍攝而得到的圖像中識別出定位標記的處理本身就很難，由此，存在未適當進行拍攝單元的對焦而對基板和擔載體的對位造成障礙的情況。在包括上述專利文獻1所述的技術在內的以往的技術中，未對這樣的問題進行對應。

發明內容

本發明是鑒于上述問題而做出的，其目的在于，在將擔載于擔載體上的被轉印物轉印到基板上的技術中，提供一種即使在難以確保良好的拍攝環境的情況下也能夠對基板和擔載體高精度地進行對位的技術。

本發明的一個方式是將作為被轉印物的圖案或薄膜轉印到基板上的轉印裝置，為了達成上述目的，該轉印裝置的特征在于，具有：保持單元，其在使擔載體和所述基板彼此分離并且使所述擔載體的一個表面與所述基板相向的狀態下，保持所述擔載體和所述基板，在所述擔載體的所述一個表面上擔載應轉印到所述基板上的所述被轉印物及規定的定位標記，拍攝單元，其從所述擔載體的與所述一個表面相反的表面一側，經由所述擔載體對所述定位標記進行拍攝，圖像處理單元，其通過圖像處理來從所述拍攝單元所拍攝的圖像中檢測出所述定位標記，定位單元，其基于檢測出的所述定位標記來調整所述基板和所述擔載體之間的相對位置；所述拍攝單元具有用于對焦到所述定位標記上的焦點調整機構，該焦點調整機構基于由所述圖像處理單元實施了對比度增強處理的所述定位標記的圖像來進行對焦。

另外，本發明的另一方式是將作為被轉印物的圖案或薄膜轉印到基板上的轉印方法，為了達成上述目的，該轉印方法的特征在于，具有：配置工序，在使擔載體和所述基板彼此分離的狀態下，且使所述擔載體的一個表面與所述基板相向，來配置所述擔載體和所述基板，在所述擔載體的所述一個表面上擔載所述被轉印物，對焦工序，利用在所述擔載體的與所述一個表面相反的表面一側配置的拍攝單元，來經由所述擔載體對擔載于所述擔載體的所述一個表面上的定位標記進行拍攝，并基于所述拍攝單元的拍攝結果來將所述拍攝單元的焦點對焦到所述定位標記上，定位工序，在將所述拍攝單元的焦點對焦到所述定位標記上的狀態下，拍攝所述定位標記和形成在所述基板上的基板側定位標記，并基于所述拍攝單元的拍攝結果來調整所述基板和所述擔載體之間的相對位置，轉印工序，使調整了相對位置的所述基板和所述擔載體相互緊貼，由此將所述被轉印物從所述擔載體轉印到所述基板上；在所述對焦工序中，對拍攝所述定位標記而得到的圖像進行對比度增強處理，并從該處理后的圖像中檢測出所述定位標記。

在如上述那樣構成的發明中，對拍攝定位標記而得到的圖像進行對比度增強處理。由此，例如因光量不充分或定位標記和擔載體之間的光學特性之差小而圖像對比度低的情況下，也能夠容易地檢測出定位標記。