[發明專利]有機金屬化學氣相沉積法的廢氣回收再生方法

無效

• 申請號: 201210528111.0
• 申請日: 2012-12-10
• 公開（公告）號: CN103691255A
• 公開（公告）日: 2014-04-02
• 發明（設計）人: 古明見
• 申請（專利權）人: 古明見
• 主分類號: B01D53/14
• 分類號: B01D53/14;C01C1/12
• 代理公司: 北京匯信合知識產權代理有限公司 11335
• 代理人: 翟國明

技術領域

本發明有關于一種廢氣回收再利用方法，尤其是有關于一種利用氨氣溶解度大的特性可溶解于水中與其他廢氣進行分離后，再經由氣化、加熱以及壓縮降溫的流程，而能達到有機金屬化學氣相沉積的廢氣回收再利用的目的。

背景技術

有機金屬化學氣相沉積法是當今最先進、最重要的氮化鎵材料和器件大批量制備技術，隨著它的出現，藍色發光材料的制作成本逐漸降低；其主要使用在LED以及DVD雷射二極管、光通訊雷射二極管、紅藍綠發光二極管、太陽能電池、或是手機通訊射頻芯片的射頻集成電路等處。然而其所產生的廢氣目前均是透過廢氣系統吸附及處理所有通過系統的有毒氣體，以減少對環境的污染。常用的廢氣處理系統可分為干式、濕式及燃燒式等種類。雖可有效處理有毒廢氣，卻無法使廢氣中可用氣體回收再利用。

因此，如何提供一可有效回收有機金屬化學氣相沉積法的廢氣，并達到循環再利用的環保目的，是發明人急欲解決的課題。

發明內容

有鑒于現有的有機金屬化學氣相沉積法的廢氣處理法仍存在有不完善處，發明人經過長時間不斷的研究開發，終于研發出此種可以回收生產氨氣以及工業用液氨的廢氣回收再生方法。

本發明有機金屬化學氣相沉積法的廢氣回收再生方法，其步驟包括：(A)將有機金屬化學氣相沉積法(MOCVD)所產生的廢氣導入至水中；(B)將含有有機金屬化學氣相沉積法的廢氣的水降溫，以保存于水中的氨氣，去除雜質；以及(C)將前述含有氨氣的水進行升溫使氨氣逸出。

本發明的主要目的在于借由上述方法，可將有機金屬化學氣相沉積法制程的廢氣去除氮氣、氫氣以及甲烷等雜質后回收生產成可用氨氣，達到廢氣循環再使用的目的。

除此之外，本發明可于步驟(C)后將所得的氨氣進行壓縮降溫，更可進一步得到工業用所需的液氨，使其更具有經濟價值。

為了能讓審查員能更易于了解本發明的特點，請參閱本發明實施方式的說明。

附圖說明

圖1為本發明有機金屬化學氣相沉積法的廢氣回收再生方法的流程圖。

圖2為本發明有機金屬化學氣相沉積法的廢氣回收再生方法的氨水濃度表。

附圖標記說明

(A)將有機金屬化學氣相沉積法所產生的廢氣導入至水中

(B)將含有有機金屬化學氣相沉積法的廢氣的水降溫，以保存于水中的氨氣，去除雜質

C)將前述含有氨氣的水進行升溫使氨氣逸出

(D)將步驟(C)逸出的氨氣進行壓縮以及降溫

具體實施方式

請同時參閱圖1以及圖2，圖1為本發明有機金屬化學氣相沉積法的廢氣回收再生方法流程圖，圖2為本發明有機金屬化學氣相沉積法的廢氣回收再生方法的氨水濃度表。本發明有機金屬化學氣相沉積法的廢氣回收再生方法，其步驟包括：(A)將有機金屬化學氣相沉積法(MOCVD)所產生的廢氣導入至水中；(B)將含有有機金屬化學氣相沉積法的廢氣的水降溫，以保存于水中的氨氣，去除雜質；以及(C)將前述含有氨氣的水進行升溫使氨氣逸出；借由上述方法，可將有機金屬化學氣相沉積法制程的廢氣去除氮氣、氫氣以及甲烷等雜質后回收生產成可用氨氣，達到廢氣循環再使用的目的。

本發明有機金屬化學氣相沉積法的廢氣回收再生方法，可于步驟(C)后再增加步驟(D)，其為將步驟(C)逸出的氨氣進行壓縮以及降溫，用以得到工業級的液氨。

由以上詳細說明可使熟知本項技術人員明白本發明的確可達成前述的目的，實已符合專利法的規定，故依法提出發明專利申請。

總之，雖然本發明揭示了優選實施例，但不應該以此限定本發明專利實施的范圍，所屬領域技術人員在不脫離本發明的精神和范圍下，相對所述實施例進行的等同變化和改進，都應該屬于本發明所保護的技術范圍。