[發明專利]有機金屬化學氣相沉積法的廢氣回收再生方法無效
| 申請號： | 201210528111.0 | 申請日： | 2012-12-10 |
| 公開（公告）號： | CN103691255A | 公開（公告）日： | 2014-04-02 |
| 發明（設計）人： | 古明見 | 申請（專利權）人： | 古明見 |
| 主分類號： | B01D53/14 | 分類號： | B01D53/14;C01C1/12 |
| 代理公司： | 北京匯信合知識產權代理有限公司 11335 | 代理人： | 翟國明 |
| 地址： | 中國臺灣新*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 有機 金屬 化學 沉積 廢氣 回收 再生 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種有機金屬化學氣相沉積法的廢氣回收再生方法，其步驟包括：
(A)將有機金屬化學氣相沉積法所產生的廢氣導入至水中；
(B)將含有有機金屬化學氣相沉積法的廢氣的水降溫，以保存于水中的氨氣，去除雜質；以及
(C)將前述含有氨氣的水進行升溫使氨氣逸出；
借由上述方法，可將有機金屬化學氣相沉積法制程的廢氣去除氮氣、氫氣以及甲烷等雜質后回收生產成可用氨氣，達到廢氣循環再使用的目的。
2.如權利要求1所述的有機金屬化學氣相沉積法的廢氣回收再生方法，其中，可于步驟(C)后再增加步驟(D)，以將步驟(C)逸出的氨氣進行壓縮以及降溫。
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