[發明專利]觸控裝置的制作方法

有效

• 申請號: 201210527816.0
• 申請日: 2012-12-10
• 公開（公告）號: CN102981676A
• 公開（公告）日: 2013-03-20
• 發明（設計）人: 陳建宇;葉家駿;莊文奇;陳逸祺
• 申請（專利權）人: 友達光電股份有限公司
• 主分類號: G06F3/041
• 分類號: G06F3/041
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 陳小雯

技術領域

本發明涉及一種觸控顯示裝置的制作方法，尤其是涉及一種以較少光掩模數量制作觸控感測元件的觸控顯示裝置的制作方法。

背景技術

由于觸控裝置具有人機互動的特性，已被廣泛應用于儀器的外埠輸入界面上。近年來，隨著消費性電子產品的應用面發展越來越廣，將觸控功能與顯示器結合而形成觸控顯示裝置的應用產品也越來越多，包括移動電話（mobile?phone）、衛星導航系統（GPS?navigator?system）、平板電腦、個人數字助理（personal?digital?assistant,PDA）以及筆記型電腦等。

一般而言，觸控裝置中的觸控面板依照其感測方式的不同而可區分為電阻式觸控面板、電容式觸控面板、光學式觸控面板、聲波式觸控面板以及電磁式觸控面板。由于電容式觸控面板具有反應時間快、可靠度佳以及耐用度高等優點，因此，電容式觸控面板已被廣泛地使用于電子產品中。依照結構及制造方式的不同，電容式觸控面板又可區分為外貼式（out-cell）、外掛式（on-cell）及內建式（in-cell）三種。外貼式的電容式觸控面板通常是將感測串列先制作于一透明基板上，再將此已制作有感測串列的透明基板貼附于顯示面板的外表面上。外掛式觸控面板是直接將觸控感測元件制作于顯示面板的外側。內建式觸控面板是將觸控感測元件制作于顯示面板的上基板或下基板的內表面，并通過連接導線將觸控感測元件電連接至外部。

觸控面板中的觸控感測元件多由多層圖案化的薄膜所構成，在形成各層圖案化薄膜時，皆需要使用具特定薄膜圖案的光掩模以圖案化薄膜，然而，隨著元件設計越精密，光掩模成本也越加提高，因此，如何通過改良制作工藝以降低制造成本仍為觸控裝置相關產業的重要課題之一。

發明內容

本發明目的之一在于提供一種觸控裝置的制作方法，相比較于傳統制作工藝，本發明提供的方法可使用較少的光掩模數量便制作出具有良好感測效能的觸控裝置。

為達上述目的，本發明公開一種觸控裝置的制作方法，包括下列步驟：首先提供表面具有第一透明導電層的基板，接著圖案化第一透明導電層，以使第一透明導電層形成下部觸控感測層，再依序于下部觸控感測層上形成第一保護層與第一光致抗蝕劑層，然后利用一光掩模以圖案化第一光致抗蝕劑層，使第一光致抗蝕劑層具有至少一第一開口暴露出第一保護層，并使第一光致抗蝕劑層具有第一厚度與第二厚度，其中第二厚度小于第一厚度。接著，移除具有第二厚度的部分第一光致抗蝕劑層，以于第一光致抗蝕劑層中形成多個第二開口，暴露出第一保護層，接著圖案化第一保護層，移除被第一光致抗蝕劑層所暴露出的部分第一保護層，以于第一保護層中形成至少一開孔與多個接觸洞，之后移除第一光致抗蝕劑層。然后，依序于第一保護層上形成第二透明導電層與第二光致抗蝕劑層，然后利用同一光掩模以圖案化第二光致抗蝕劑層，使第二光致抗蝕劑層具有至少一第三開口對應于第一保護層的開孔并暴露出第二透明導電層，再圖案化第二透明導電層，移除被第二光致抗蝕劑層所暴露出的部分第二透明導電層，以使第二透明導電層形成上部觸控感測層，最后再移除第二光致抗蝕劑層。

由于本發明是利用同一光掩模來分別圖案化第一光致抗蝕劑層與第二光致抗蝕劑層，并通過圖案化的第一光致抗蝕劑層與第二光致抗蝕劑層當作掩模而進一步圖案化第一保護層與第二透明導電層，以形成所需的感光元件圖案，因此可以減少光掩模數量，進而節省昂貴的光掩模成本與整體制作工藝成本。

附圖說明

圖1為本發明觸控裝置的第一實施例的上視示意圖；

圖2為本發明觸控裝置的第一實施例的剖面示意圖；

圖3至圖13為本發明觸控裝置制作方法的第一實施例的制作工藝示意圖，其中圖3、圖5至圖8以及圖10至圖12為剖面示意圖，而圖4、圖9及圖13為俯視圖；

圖14為本發明觸控裝置制作方法的第二實施例的剖面示意圖；

圖15為本發明觸控裝置制作方法的第二實施例的觸控感測元件的俯視示意圖；

圖16為本發明觸控裝置制作方法的第三實施例的觸控感測元件的俯視示意圖。

主要元件符號說明

100????觸控顯示器??????????101?????觸控裝置

102????第一基板????????????102a????第一基板內表面

102b???觸控區??????????????102c????框膠區

102d???連接區??????????????102e????第一基板外表面