[發(fā)明專利]搭載裝置、基板裝置的制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210526219.6
• 申請日: 2012-12-07
• 公開（公告）號: CN103295933B
• 公開（公告）日: 2017-07-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 澤田寬
• 申請（專利權(quán)）人: 富士施樂株式會(huì)社
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/68;H05K3/30
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11112
• 代理人: 何立波,張?zhí)焓?/td>

1.一種搭載裝置，其具有：

保持部，其對沿預(yù)定的搭載方向相對于基板依次地進(jìn)行搭載的多個(gè)半導(dǎo)體元件分別進(jìn)行保持，并且使在該半導(dǎo)體元件長度方向的端部形成的識別標(biāo)記在前述搭載方向的后側(cè)露出；

拍攝單元，其具有可對由前述保持部保持的前述半導(dǎo)體元件的前述識別標(biāo)記及已搭載在前述基板上的前述半導(dǎo)體元件的形成在其長度方向的端部的識別標(biāo)記進(jìn)行拍攝的視野；

保持部移動(dòng)單元，其使前述保持部相對于前述基板進(jìn)行相對移動(dòng)；

拍攝單元移動(dòng)單元，其使前述拍攝單元相對于前述基板進(jìn)行相對移動(dòng)；以及

控制單元，其如下述(1)和(3)所示，或如下述(2)和(3)所示，控制前述保持部對前述半導(dǎo)體元件的保持動(dòng)作、和前述保持部移動(dòng)單元對前述保持部的移動(dòng)動(dòng)作，

(1)利用前述保持部對相對于前述基板最初搭載的第1個(gè)半導(dǎo)體元件進(jìn)行保持，根據(jù)絕對位置將該第1個(gè)半導(dǎo)體元件搭載在前述基板上；

(2)利用前述保持部對相對于前述基板最初搭載的第1個(gè)半導(dǎo)體元件進(jìn)行保持，維持由前述保持部進(jìn)行的保持狀態(tài)，根據(jù)絕對位置將該第1個(gè)半導(dǎo)體元件放置在前述基板上，

然后基于前述拍攝單元的拍攝信息判斷前述基板的定位標(biāo)記和前述第1個(gè)半導(dǎo)體元件的前述識別標(biāo)記的相對位置是否位于預(yù)定的范圍內(nèi)，

如果位于前述范圍之外，則利用前述保持部移動(dòng)單元使前述保持部在前述絕對位置的容許范圍內(nèi)相對于前述基板進(jìn)行相對移動(dòng)，以進(jìn)入前述范圍內(nèi)，然后解除由前述保持部對前述第1個(gè)半導(dǎo)體元件進(jìn)行保持的狀態(tài)而搭載該第1個(gè)半導(dǎo)體元件，

如果位于前述范圍內(nèi)，則解除由前述保持部對利用前述絕對位置放置的前述第1個(gè)半導(dǎo)體元件進(jìn)行保持的狀態(tài)，在該位置將第1個(gè)半導(dǎo)體元件搭載在前述基板上；

(3)利用前述保持部對在前述第1個(gè)半導(dǎo)體元件之后相對于前述基板搭載的第2個(gè)及以后的半導(dǎo)體元件進(jìn)行保持，維持由前述保持部進(jìn)行的保持狀態(tài)，根據(jù)絕對位置將該第2個(gè)及以后的半導(dǎo)體元件放置在前述基板上，

然后基于前述拍攝單元的拍攝信息，判斷已搭載在前述基板上的半導(dǎo)體元件的識別標(biāo)記、和根據(jù)絕對位置放置在前述基板上的狀態(tài)的前述第2個(gè)及以后的半導(dǎo)體元件的前述識別標(biāo)記的相對位置是否位于預(yù)定的范圍內(nèi)，

如果位于前述范圍之外，則利用前述保持部移動(dòng)單元使前述保持部在前述絕對位置的容許范圍內(nèi)相對于前述基板進(jìn)行相對移動(dòng)，以進(jìn)入前述范圍內(nèi)，然后解除由前述保持部對前述第2個(gè)及以后的半導(dǎo)體元件進(jìn)行保持的狀態(tài)而搭載該第2個(gè)及以后的半導(dǎo)體元件，

如果位于前述范圍內(nèi)，則解除由前述保持部對利用前述絕對位置放置的前述第2個(gè)及以后的半導(dǎo)體元件進(jìn)行保持的狀態(tài)，在該位置將第2個(gè)及以后的半導(dǎo)體元件搭載在前述基板上。