[發明專利]有機層沉積設備和利用其制造有機發光顯示設備的方法在審

申請號：	201210520107.X	申請日：	2012-12-06
公開（公告）號：	CN103255371A	公開（公告）日：	2013-08-21
發明（設計）人：	康熙哲;金鐘憲;蔣允豪;張錫洛;盧喆來	申請（專利權）人：	三星顯示有限公司
主分類號：	C23C14/12	分類號：	C23C14/12;C23C14/04;C23C14/56;H01L51/56
代理公司：	北京銘碩知識產權代理有限公司 11286	代理人：	王占杰;張川緒
地址：	韓國京畿***	國省代碼：	韓國;KR
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摘要：
搜索關鍵詞：	有機沉積設備利用制造發光顯示方法
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【說明書】：

本申請要求于2012年2月17日在韓國知識產權局提交的第10-2012-0016472號韓國專利申請的優先權和權益，該韓國專利申請的全部內容通過引用包含于此。

技術領域

本發明實施例的多個方面涉及一種有機層沉積設備和一種利用該有機層沉積設備制造有機發光顯示設備的方法。

背景技術

通常，有機發光顯示設備具有寬視角、高對比度和快速的響應時間。因此，有機發光顯示設備可以應用于用于移動裝置的顯示裝置或者諸如超薄電視的電子/電氣產品，其中，移動裝置諸如數碼相機、攝像機、便攜式攝像機、便攜式信息終端、智能手機、超薄膝上型計算機、臺式個人計算機（PC）和柔性顯示設備。

通常，當在陽極和陽極中分別注入的空穴和電子在有機發光層中復合而發光時，具體地講，當通過結合空穴和電子而形成的激子從激發態變到基態時，有機發光顯示設備發光。

在諸如超薄電視的大尺寸電子裝置中應用的有機發光顯示設備使用大基板。可以通過利用具有與薄膜圖案層對應的圖案的掩模沉積薄膜圖案層的原料來形成諸如形成在大基板上的有機發射層的薄膜圖案層。

發明內容

根據本發明的實施例的一方面，一種有機層沉積設備能夠通過使掃描單元相對于大尺寸基板移動來執行沉積工藝，有機層沉積設備可用于大規模制造并且簡化了沉積工藝。根據本發明實施例的另一方面，在制造有機發光顯示設備的方法中，使用了上面描述的有機層沉積設備。

根據本發明的一個實施例，一種有機層沉積設備包括：運輸器，包括安裝有用來形成有機層的基板的吸盤；掃描單元，包括用來排放沉積原料的沉積單元和具有多個圖案化縫隙的圖案化縫隙片，圖案化縫隙片在第一方向和垂直于第一方向的第二方向中的至少一個方向上比基板小；室，容納運輸器和掃描單元，掃描單元被布置成與基板隔開并且能夠相對于運輸器移動。

沉積單元可以包括：沉積源，布置在運輸器的一側，以排放沉積原料；沉積源噴嘴單元，位于沉積源上并且包括多個噴嘴；障礙板組件，位于圖案化縫隙片和沉積源噴嘴單元之間，并且包括多個障礙板，所述多個障礙板將圖案化縫隙片和沉積源噴嘴單元之間的空間劃分為多個子沉積空間。

圖案化縫隙片可以與基板隔開。

吸盤可以安裝在基板的表面上，用來支撐基板，基板的所述表面與基板的面向掃描單元的表面相對。

基板可以包括布置在室中的多個基板，掃描單元可以被構造成在所述多個基板之間往復運動。

所述有機層沉積設備還可以包括對準臺單元，對準臺單元布置在圖案化縫隙片的下部并且包括用來將圖案化縫隙片對準為與基板平行的至少一個位置控制器。

掃描單元和對準臺單元可以在基體框架上彼此一體地結合，用來彼此連同地移動。

室可以包括連續布置的多個室，掃描單元可以被構造為在每個室內沿一定的方向移動，所述一定的方向與運輸器按沿直線步進的方式在所述多個室中的相鄰的室之間移動的方向交叉。

室可以包括連續布置的多個室，基板可以包括在每個室內沿水平方向彼此隔開布置的多個基板，圖案化縫隙片和沉積單元可以在豎直方向上連續地布置在所述多個基板的下部。

每個室中的圖案化縫隙片和沉積單元可以被構造成在一定的方向上在所述多個基板之間水平地往復運動，所述多個基板可以沿著與所述一定的方向交叉的另一方向按沿直線步進的方式在所述多個室中的相鄰的室之間移動。

室可以包括連續布置的多個室，基板可以包括在每個室內沿豎直方向彼此隔開布置的多個基板，圖案化縫隙片和沉積單元可以在水平方向上連續地布置在所述多個基板的后部。

每個室中的圖案化縫隙片和沉積單元可以被構造成在豎直方向上在所述多個基板之間往復運動，所述多個基板可以在所述多個室中的相鄰的室之間水平地移動。

室可以包括以循環的形式布置的多個室，基板可以包括在每個室內沿豎直方向彼此隔開布置的多個基板，圖案化縫隙片和沉積單元可以在水平方向上連續地布置在所述多個基板的后部。