[發(fā)明專利]有機層沉積裝置、有機發(fā)光顯示裝置及其制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210518563.0
• 申請日: 2012-12-05
• 公開（公告）號: CN103160789B
• 公開（公告）日: 2017-06-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 金東昱
• 申請（專利權(quán)）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/04;H01L51/56
• 代理公司: 北京銘碩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11286
• 代理人: 王占杰,薛義丹

本申請要求于2011年12月16日在韓國知識產(chǎn)權(quán)局提交的第10-2011-0136558號韓國專利申請的優(yōu)先權(quán)和權(quán)益，該申請的全部內(nèi)容通過引用包含于此。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明的實施例的多個方面涉及一種有機層沉積裝置、一種通過使用該有機層沉積裝置制造有機發(fā)光顯示裝置的方法以及一種有機發(fā)光顯示裝置。

背景技術(shù)

與其它顯示裝置相比，有機發(fā)光顯示裝置具有更大的視角、更好的對比度性能和更快的響應(yīng)速度，因此有機發(fā)光顯示裝置作為下一代顯示裝置而備受關(guān)注。

通常，有機發(fā)光顯示裝置具有堆疊結(jié)構(gòu)，該堆疊結(jié)構(gòu)包括陽極、陰極及置于陽極和陰極之間的發(fā)射層。當(dāng)分別從陽極和陰極注入的空穴和電子在發(fā)射層復(fù)合而因此發(fā)射光時，該裝置顯示彩色圖像。然而，使用這種結(jié)構(gòu)難以實現(xiàn)高的發(fā)光效率。因此，可在發(fā)射層和每個電極之間額外地設(shè)置包括電子注入層、電子傳輸層、空穴傳輸層、空穴注入層等的中間層。

發(fā)明內(nèi)容

根據(jù)本發(fā)明實施例的多個方面，有機層沉積裝置易于制造，并且該有機層沉積裝置可簡單應(yīng)用于大規(guī)模制造大尺寸的顯示裝置，提高生產(chǎn)產(chǎn)率和沉積效率，并且具有改進的基底傳送的精確度。根據(jù)本發(fā)明實施例的另外方面，提供了一種通過利用上述的有機層沉積裝置制造的有機發(fā)光顯示裝置的制造方法以及一種有機發(fā)光顯示裝置。

根據(jù)本發(fā)明的實施例，一種用于在基底上形成有機層的有機層沉積裝置包括：沉積源，用于排放沉積材料；沉積源噴嘴單元，布置在沉積源的一側(cè)并包括多個沉積源噴嘴；圖案縫隙片，與沉積源噴嘴單元相對地布置并包括多個圖案縫隙；靜電吸盤，基底能夠附于靜電吸盤并能夠從靜電吸盤拆卸；吸盤移動構(gòu)件，與靜電吸盤組合并被構(gòu)造為使靜電吸盤移動；以及引導(dǎo)構(gòu)件，引導(dǎo)吸盤移動構(gòu)件的移動。吸盤移動構(gòu)件包括第一磁力發(fā)生器。引導(dǎo)構(gòu)件包括與第一磁力發(fā)生器對應(yīng)的第二磁力發(fā)生器。吸盤移動構(gòu)件由于第一磁力發(fā)生器和第二磁力發(fā)生器產(chǎn)生的磁力而能夠在引導(dǎo)構(gòu)件上移動?；着c圖案縫隙片分隔開，并且基底和圖案縫隙片中的至少一個能夠相對于另一個移動。圖案縫隙片在第一方向或垂直于第一方向的第二方向中的至少一個方向上小于基底。

第一磁力發(fā)生器中的每個可包括位于吸盤移動構(gòu)件中的一個吸盤移動構(gòu)件的表面上的多個磁體。

在磁體軌道中，磁體可沿布置成行并且所述多個磁體中的相鄰的磁體具有不同的極性。

所述多個磁體可包括電磁體、永磁體或超導(dǎo)磁體。

第二磁力發(fā)生器中的每個可包括：多個磁輥，與磁體軌道分隔開；軸，連接所述多個磁輥；以及軸固定單元，將軸固定在引導(dǎo)構(gòu)件上，以使軸繞著沿軸的長度方向延伸的軸旋轉(zhuǎn)。

所述多個磁輥可包括沿軸的長度方向螺旋纏繞的多個磁體。

在所述多個磁輥中，相鄰的磁體可具有不同的極性。

當(dāng)磁輥旋轉(zhuǎn)時，磁輥產(chǎn)生的第一磁場可改變，以使吸盤移動構(gòu)件在引導(dǎo)構(gòu)件上移動，吸盤移動構(gòu)件均包括磁體軌道。

第二磁力發(fā)生器中的每個還可包括用于使軸旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動單元。

第一磁力發(fā)生器中的每個可包括：多個磁輥；軸，連接所述多個磁輥；以及軸固定單元，將軸固定在引導(dǎo)構(gòu)件上，以使軸繞著沿軸的長度方向延伸的軸旋轉(zhuǎn)。

所述多個磁輥可包括沿軸的長度方向螺旋纏繞的多個磁體。

在所述多個磁輥中，相鄰的磁體可具有不同的極性。

第二磁力發(fā)生器中的每個可包括位于吸盤移動構(gòu)件的表面上的多個磁體，所述多個磁輥與磁體軌道分隔開。

在磁鐵軌道中，磁體可沿布置成行，并且所述多個磁體中的相鄰的磁體可具有不同的極性。

所述多個磁體可包括電磁體、永磁體或超導(dǎo)磁體。

當(dāng)磁輥旋轉(zhuǎn)時，磁輥產(chǎn)生的第一磁場可改變第二磁場，第二磁場可改變，成使吸盤移動構(gòu)件在引導(dǎo)構(gòu)件上移動，吸盤移動構(gòu)件均包括磁體軌道。

第一磁力發(fā)生器中的每個還可包括用于使軸旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動單元。

驅(qū)動單元可位于吸盤移動構(gòu)件的每個上，并且與相應(yīng)的吸盤移動構(gòu)件一起在相應(yīng)的引導(dǎo)構(gòu)件上移動。

所述有機層沉積裝置還可包括位于吸盤移動構(gòu)件中的每個與引導(dǎo)構(gòu)件中的相應(yīng)的引導(dǎo)構(gòu)件之間的線性運動（LM）引導(dǎo)件。

LM引導(dǎo)件中的每個可包括：引導(dǎo)塊，位于吸盤移動構(gòu)件中的相應(yīng)的吸盤移動構(gòu)件上；引導(dǎo)軌道，位于引導(dǎo)構(gòu)件中的相應(yīng)的引導(dǎo)構(gòu)件上，引導(dǎo)塊可在引導(dǎo)軌道上可移動。

所述有機層沉積裝置還可包括：裝載單元，用于將基底附于靜電吸盤上；以及卸載單元，用于從靜電吸盤拆卸已經(jīng)執(zhí)行過沉積的基底。

圖案縫隙片可小于基底。