[發明專利]有機層沉積裝置、有機發光顯示裝置及其制造方法

有效

• 申請號: 201210518563.0
• 申請日: 2012-12-05
• 公開（公告）號: CN103160789B
• 公開（公告）日: 2017-06-09
• 發明（設計）人: 金東昱
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/04;H01L51/56
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司11286
• 代理人: 王占杰,薛義丹

1.一種用于在基底上形成有機層的有機層沉積裝置，所述有機層沉積裝置包括：

沉積源，用于排放沉積材料；

沉積源噴嘴單元，布置在沉積源的一側并包括多個沉積源噴嘴；

圖案縫隙片，與沉積源噴嘴單元相對地布置并包括多個圖案縫隙；

靜電吸盤，基底能夠附于靜電吸盤并能夠從靜電吸盤拆卸；

吸盤移動構件，與靜電吸盤組合并被構造為使靜電吸盤移動；以及

引導構件，引導吸盤移動構件的移動，

其中，吸盤移動構件包括第一磁力發生器，

其中，引導構件包括與第一磁力發生器對應的第二磁力發生器，

其中，吸盤移動構件由于在第一磁力發生器和第二磁力發生器產生的磁力而能夠在引導構件上移動，

其中，基底與圖案縫隙片分隔開，并且基底和圖案縫隙片中的至少一個能夠相對于另一個移動，以及

其中，圖案縫隙片在第一方向和垂直于第一方向的第二方向中的至少一個方向上小于基底，

其中，第一磁力發生器中的每個包括：

多個磁輥；

軸，連接所述多個磁輥；和

軸固定單元，將軸固定在吸盤移動構件上，以使軸繞著沿軸的長度方向延伸的軸旋轉，

其中，第二磁力發生器中的每個包括位于引導構件的表面上的包括多個第二磁體的磁體軌道，所述多個磁輥與磁體軌道分隔開，

其中，當磁輥旋轉時，磁輥產生的第一電場螺旋移動以使吸盤移動構件在各包括磁體軌道的引導構件上移動。

2.根據權利要求1所述的有機層沉積裝置，其中，所述多個磁輥中的每個包括沿軸的長度方向螺旋纏繞的多個第一磁體。

3.根據權利要求2所述的有機層沉積裝置，其中，在所述多個磁輥中的每個中，所述多個第一磁體中的相鄰的第一磁體具有不同的極性。

4.根據權利要求1所述的有機層沉積裝置，其中，在磁體軌道中，所述多個第二磁體布置成行，并且所述多個第二磁體中的相鄰的第二磁體具有不同的極性。

5.根據權利要求1所述的有機層沉積裝置，其中，所述多個第二磁體包括電磁體、永磁體或超導磁體。

6.根據權利要求1所述的有機層沉積裝置，其中，第一磁力發生器中的每個還包括用于使軸旋轉的驅動單元。

7.根據權利要求6所述的有機層沉積裝置，其中，驅動單元位于吸盤移動構件中的每個上，并且與相應的吸盤移動構件一起在相應的引導構件上移動。

8.根據權利要求1所述的有機層沉積裝置，所述有機層沉積裝置還包括位于每個吸盤移動構件與相應的引導構件之間的線性運動引導件。

9.根據權利要求8所述的有機層沉積裝置，其中，線性運動引導件中的每個包括：

引導塊，位于吸盤移動構件中的相應的吸盤移動構件上；

引導軌道，位于引導構件中的相應的引導構件上，

其中，引導塊能夠在引導軌道上移動。

10.根據權利要求1所述的有機層沉積裝置，所述有機層沉積裝置還包括：

裝載單元，用于將基底附于靜電吸盤上；和

卸載單元，用于從靜電吸盤拆卸已經執行過沉積的基底。

11.根據權利要求1所述的有機層沉積裝置，其中，沉積源噴嘴單元包括沿一個方向布置的多個沉積源噴嘴，并且圖案縫隙片的所述多個圖案縫隙沿垂直于所述一個方向的另一方向布置。

12.一種制造有機發光顯示裝置的方法，所述方法包括：

將基底固定在靜電吸盤上；

將靜電吸盤與吸盤移動構件組合；

通過使吸盤移動構件在引導構件上移動來將靜電吸盤移動到室中；以及

通過使均布置在室中的基底和有機層沉積組件中的至少一個相對于另一個移動來在基底上形成有機層，

其中，吸盤移動構件由于磁力而在引導構件上移動，

其中，基底與有機層沉積組件分隔開，以及

其中，有機層沉積組件的圖案縫隙片在第一方向和垂直于第一方向的第二方向中的至少一個方向上小于基底，

其中，吸盤移動構件包括第一磁力發生器，

其中，引導構件包括與第一磁力發生器對應的第二磁力發生器，

其中，第一磁力發生器中的每個包括：

多個磁輥；

軸，連接所述多個磁輥；和

軸固定單元，將軸固定在吸盤移動構件上，以使軸繞著沿軸的長度方向延伸的軸旋轉，

其中，第二磁力發生器中的每個包括位于引導構件的表面上的包括多個磁體的磁體軌道，所述多個磁輥與磁體軌道分隔開，

其中，當磁輥旋轉時，磁輥產生的第一電場螺旋移動以使吸盤移動構件在各包括磁體軌道的引導構件上移動。