[發(fā)明專利]基板翻轉(zhuǎn)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210517950.2
• 申請(qǐng)日: 2012-12-05
• 公開（公告）號(hào): CN103227125A
• 公開（公告）日: 2013-07-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 安承旭;姜明一;金明辰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社TES
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;G02F1/1333
• 代理公司: 北京鴻元知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11327
• 代理人: 姜虎;陳英俊

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及可以提高翻轉(zhuǎn)基板的工序的可靠性的同時(shí)，能夠削減成本的基板翻轉(zhuǎn)裝置。

背景技術(shù)

目前，對(duì)平板顯示裝置（Flat?Panel?Display?Device）的需要逐漸增加，隨之，LCD（Liquid?Crystal?Display：液晶顯示）面板、PDP（Plasma?Display?Panel：等離子顯示面板）、FED（Field?Emission?Display：場(chǎng)發(fā)射顯示器）面板、OLED（Organic?Light?Emitting?Diodes：有機(jī)發(fā)光二極管）面板及VFD（VacuumFluorescent?Display：真空熒光顯示）面板等的研究開發(fā)也非常活躍。

對(duì)LCD面板進(jìn)行說(shuō)明。

LCD面板是利用液晶的折射率的各向異性而在畫面上顯示信息的裝置，其包括上部基板、下部基板及形成于上述上部基板和上述下部基板之間的液晶層。

上述下部基板是驅(qū)動(dòng)元件陣列基板，在上述下部基板形成有多個(gè)像素，在上述各個(gè)像素上形成有薄膜晶體管等驅(qū)動(dòng)元件。上述上部基板是彩色濾光片基板，其形成有用于體現(xiàn)實(shí)際顏色的彩色濾光層。

在上述上部基板及上述下部基板分別形成有像素電極及共同電極，并涂布有用于取向上述液晶層的液晶分子的取向膜。

上述的LCD面板，在上述上部基板和上述下部基板適當(dāng)?shù)貓?zhí)行驅(qū)動(dòng)元件陣列工序、彩色濾光片工序及單元工序等之后，貼合上述上部基板和上述下部基板。因此，因LCD面板的工序特性，必須要翻轉(zhuǎn)LCD面板。

現(xiàn)有的翻轉(zhuǎn)LCD面板等基板的基板翻轉(zhuǎn)裝置包括：被支承于真空狀態(tài)的腔室而設(shè)置成可旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)框架；固定在上述旋轉(zhuǎn)框架的一側(cè)的固定夾持部件；可升降地設(shè)置在上述旋轉(zhuǎn)框架的另一側(cè)并與上述固定夾持部件對(duì)置的升降夾持部件；使上述升降夾持部件升降的伸縮管。

上述伸縮管的一側(cè)連接在上述升降夾持部件，另一側(cè)與空氣罐連通。由此，若被供給空氣，上述伸縮管膨脹使上述升降夾持部件上升，若排出空氣，則上述伸縮管收縮使上述升降夾持部件下降。

當(dāng)基板被機(jī)械臂支承而位于上述固定夾持部件和上述升降夾持部件之間時(shí)，通過(guò)上述伸縮管的膨脹而使上述升降夾持部件上升。這樣，基板被支承在上述固定夾持部件和上述升降夾持部件之間，在這種狀態(tài)下，上述旋轉(zhuǎn)框架旋轉(zhuǎn)而使基板翻轉(zhuǎn)。

上述的現(xiàn)有基板翻轉(zhuǎn)裝置中，上述伸縮管被設(shè)置在真空狀態(tài)的腔室，所以腔室的壓力從外側(cè)向內(nèi)側(cè)作用于上述伸縮管。因此，為了使上述伸縮管膨脹，流入到上述伸縮管的內(nèi)部的空氣壓力要大于上述腔室的壓力。

因此，高壓施加于上述伸縮管的內(nèi)部，導(dǎo)致上述伸縮管容易被損傷。因此，具有基板翻轉(zhuǎn)工序的可靠性下降的缺點(diǎn)，而且在上述伸縮管的維修上消耗很多時(shí)間和費(fèi)用，導(dǎo)致成本上升。

在韓國(guó)公開特許公報(bào)10－2005－0097115號(hào)等公開了與基板翻轉(zhuǎn)裝置相關(guān)的現(xiàn)有技術(shù)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題而提出的，本發(fā)明的目的在于提供一種基板翻轉(zhuǎn)裝置，其能夠防止伸縮管被損傷，提高使基板翻轉(zhuǎn)的工序的可靠性的同時(shí)，能夠削減成本。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明的基板翻轉(zhuǎn)裝置包括：真空狀態(tài)的主腔室；旋轉(zhuǎn)框架，被上述主腔室支承并能夠旋轉(zhuǎn)；固定夾持部件，設(shè)置于上述旋轉(zhuǎn)框架的一側(cè)而與上述旋轉(zhuǎn)框架一同旋轉(zhuǎn)，并支承上述基板的一表面邊緣部；升降夾持部件，設(shè)置在上述旋轉(zhuǎn)框架的另一側(cè)并與上述旋轉(zhuǎn)框架一同旋轉(zhuǎn)，設(shè)置成可升降并支承上述基板的另一表面邊緣部，當(dāng)設(shè)置于升降夾持部件與上述固定夾持部件之間的上述基板通過(guò)上述旋轉(zhuǎn)框架的旋轉(zhuǎn)而翻轉(zhuǎn)時(shí)，與上述固定夾持部件協(xié)同工作而防止上述基板掉落；致動(dòng)器，具有柱塞，該柱塞的一側(cè)結(jié)合在上述升降夾持部件側(cè)并進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)，從而使上述升降夾持部件升降；及第一伸縮管，其一側(cè)結(jié)合在上述升降夾持部件，另一側(cè)結(jié)合在上述致動(dòng)器，并包覆上述柱塞，隨著上述柱塞的直線運(yùn)動(dòng)而進(jìn)行伸縮。

根據(jù)本發(fā)明的基板翻轉(zhuǎn)裝置，通過(guò)致動(dòng)器使升降夾持部件升降。因此，在使包覆并保護(hù)致動(dòng)器的柱塞的第一伸縮管膨脹時(shí)，不需要向第一伸縮管的內(nèi)部注入高壓的空氣。即，可以將第一伸縮管的內(nèi)部維持大氣壓狀態(tài)，所以在第一伸縮管作用相對(duì)小的壓力。因此，可以防止第一伸縮管被損傷，提高用于翻轉(zhuǎn)基板的工序的可靠性。

并且，柱塞被第一伸縮管包覆保護(hù)，因此可使用非真空使用致動(dòng)器。因此，具有削減成本的效果。

附圖說(shuō)明

圖1是表示根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的基板翻轉(zhuǎn)裝置的外觀的立體圖。

圖2是表示圖1所示的基板翻轉(zhuǎn)裝置的主腔室的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的立體圖。