[發明專利]基板翻轉裝置

有效

• 申請號: 201210517950.2
• 申請日: 2012-12-05
• 公開（公告）號: CN103227125A
• 公開（公告）日: 2013-07-31
• 發明（設計）人: 安承旭;姜明一;金明辰
• 申請（專利權）人: 株式會社TES
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;G02F1/1333
• 代理公司: 北京鴻元知識產權代理有限公司 11327
• 代理人: 姜虎;陳英俊

1.一種基板翻轉裝置，其特征在于，包括：

真空狀態的主腔室；

旋轉框架，被上述主腔室支承并能夠旋轉；

固定夾持部件，設置于上述旋轉框架的一側而與上述旋轉框架一同旋轉，并對上述基板的一表面邊緣部進行支承；

升降夾持部件，設置在上述旋轉框架的另一側而與上述旋轉框架一同旋轉，設置成可升降并支承上述基板的另一表面邊緣部，當設置于上述升降夾持部件與上述固定夾持部件之間的上述基板通過上述旋轉框架的旋轉而翻轉時，與上述固定夾持部件協同工作而防止上述基板掉落；

致動器，具有柱塞，該柱塞的一側結合在上述升降夾持部件側并進行直線運動，從而使上述升降夾持部件升降；及

第一伸縮管，其一側結合在上述升降夾持部件，另一側結合在上述致動器，用于包覆上述柱塞，并隨著上述柱塞的直線運動而進行伸縮。

2.如權利要求1所述的基板翻轉裝置，其特征在于，

上述致動器是非真空用致動器。

3.如權利要求1所述的基板翻轉裝置，其特征在于，

上述柱塞的一側與上述第一伸縮管的一側形成為一體。

4.如權利要求1所述的基板翻轉裝置，其特征在于，

在上述升降夾持部件可升降地設有與上述基板接觸并支承上述基板的支承墊。

5.如權利要求4所述的基板翻轉裝置，其特征在于，

在上述支承墊和上述升降夾持部件之間，設有朝向上述基板側彈性支承上述支承墊的彈性部件。

6.如權利要求1所述的基板翻轉裝置，其特征在于，

上述固定夾持部件設置成相互對置的一對，形成為板狀，并分別支承上述基板的一表面邊緣部；

上述升降夾持部件設置成相互對置的一對，形成為板狀，并分別與上述固定夾持部件對置，分別支承上述基板的另一表面邊緣部；

在一對上述升降夾持部件的兩端部分別延伸形成有與上述升降夾持部件垂直的支承板；

在上述支承板形成有臺階面，用于將被支承于上述升降夾持部件的上述基板的側面側搭載并卡合支承。

7.如權利要求6所述的基板翻轉裝置，其特征在于，

上述旋轉框架進行正反旋轉，以使分別形成于上述升降夾持部件的一端部及另一端部的上述支承板的位置被翻轉。

8.如權利要求1所述的基板翻轉裝置，其特征在于，

在與上述基板的角部對應的上述固定夾持部件的部位，分別設有對齊致動器用腔室；

在上述對齊致動器用腔室內部設有對齊機構，該對齊機構排列被翻轉而搭載支承于上述固定夾持部件上的上述基板使其位于規定位置。

9.如權利要求8所述的基板翻轉裝置，其特征在于，上述對齊機構包括：

汽缸，設置于上述對齊致動器用腔室內部，具有進行直線運動的活塞；

第二伸縮管，其一側與上述活塞連接，另一側貫穿設置于上述對齊致動器用腔室，隨著上述活塞的直線運動而進行伸縮；

支承架，被結合在上述第二伸縮管的另一側部位，隨著上述第二伸縮管的伸縮而進行直線運動；及

支承桿，被結合在上述支承架并與上述支承架一起運動，用于支承上述基板的角部而使基板移動。

10.如權利要求9所述的基板翻轉裝置，其特征在于，

在上述支承架設有蓋子，在上述支承架和上述蓋子之間設置有使上述第二伸縮管恢復到初始狀態的彈性部件。

11.如權利要求10所述的基板翻轉裝置，其特征在于，

在上述對齊致動器用腔室內部各設有兩個上述對齊機構，設置于上述對齊致動器用腔室內部的各兩個上述對齊機構，以上述基板的角落為基準，分別支承上述基板的一側面及另一側面而使其移動。

12.如權利要求1至11中任一項所述的基板翻轉裝置，其特征在于，

在上述主腔室的一側面形成有供電纜或空氣供給用管道通過的連通孔。